ગ્રેનાઈટ એર બેરિંગ સિસ્ટમ્સનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છેઅતિ-ચોકસાઇસેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન, ઓપ્ટિકલ ગોઠવણી અને નેનોમીટર-સ્કેલ મેટ્રોલોજી માટે ગતિ પ્લેટફોર્મ.
આ સિસ્ટમો પાતળા દબાણયુક્ત હવા ફિલ્મનો ઉપયોગ કરીને યાંત્રિક સંપર્કને દૂર કરે છે, લગભગ શૂન્ય ઘર્ષણ ગતિ પ્રાપ્ત કરે છે.
એર બેરિંગ સિદ્ધાંત
એર બેરિંગ્સ બે સપાટીઓ વચ્ચે સંકુચિત હવા દાખલ કરીને કાર્ય કરે છે, જે 2-20 μm એર ફિલ્મ બનાવે છે.
આ દૂર કરે છે:
- યાંત્રિક ઘર્ષણ
- પહેરો
- લાકડી-સ્લિપ વર્તન
આ સિસ્ટમ પ્રવાહી ફિલ્મ ગતિશીલતા અને સ્થિર લેમિનર પ્રવાહ પર આધાર રાખે છે.
ગ્રેનાઈટની ભૂમિકા
ગ્રેનાઈટ પૂરી પાડે છે:
- માળખાકીય સ્થિરતા
- થર્મલ ડ્રિફ્ટ સપ્રેશન
- વાઇબ્રેશન ડેમ્પિંગ
તે ગતિ પ્રણાલી માટે યાંત્રિક સંદર્ભ આધાર તરીકે સેવા આપે છે.
સિસ્ટમ ઘટકો
- ગ્રેનાઈટ બેઝ
- એર બેરિંગ પેડ્સ
- હવા પુરવઠા પ્રણાલી
- ચોકસાઇ એન્કોડર્સ
- ગતિ નિયંત્રણ સિસ્ટમ
પ્રદર્શન લાક્ષણિકતાઓ
લાક્ષણિક કામગીરીમાં શામેલ છે:
- સબ-માઇક્રોન પોઝિશનિંગ ચોકસાઈ
- લાંબી મુસાફરીમાં ઉચ્ચ સીધીતા
- શૂન્ય યાંત્રિક પ્રતિક્રિયા
મુખ્ય ભૂલ સ્ત્રોતોમાં હવાના દબાણની અસ્થિરતા, થર્મલ ડ્રિફ્ટ અને એન્કોડર ભૂલનો સમાવેશ થાય છે.
અરજીઓ
- સેમિકન્ડક્ટર વેફર નિરીક્ષણ
- લિથોગ્રાફી સિસ્ટમ્સ
- ઓપ્ટિકલ એલાઈનમેન્ટ પ્લેટફોર્મ્સ
- ઉચ્ચ કક્ષાના મેટ્રોલોજી મશીનો
વારંવાર પૂછાતા પ્રશ્નો
શું એર બેરિંગ્સ ઘસાઈ જાય છે?
કોઈ યાંત્રિક સંપર્ક ઘસારો દૂર કરતો નથી.
ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ શા માટે?
સ્થિરતા અને વાઇબ્રેશન ડેમ્પિંગ માટે.
ચોકસાઈ શું મર્યાદિત કરે છે?
હવા સ્થિરતા અને થર્મલ અસરો.
શું તેઓ ભારે ભાર વહન કરી શકે છે?
હા, ડિઝાઇન પર આધાર રાખીને.
પોસ્ટ સમય: જુલાઈ-03-2026