ટેકનોલોજીના વિકાસ સાથે, સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં ગ્રેનાઈટના ભાગોનો ઉપયોગ વધુને વધુ લોકપ્રિય બન્યો છે. ગ્રેનાઈટ તેના ઘણા ફાયદાઓને કારણે સેમિકન્ડક્ટર સાધનોની પ્રક્રિયા ટેકનોલોજીમાં ઉપયોગ માટે એક લોકપ્રિય પસંદગી છે. ગ્રેનાઈટ ઉપલબ્ધ સૌથી સખત અને ટકાઉ સામગ્રીમાંની એક છે જે તેને સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન ઉદ્યોગમાં ઉપયોગ માટે આદર્શ બનાવે છે. તે એક ઉત્તમ થર્મલ વાહક છે અને તેમાં થર્મલ વિસ્તરણનો ખૂબ જ ઓછો ગુણાંક છે જે તેને ઉચ્ચ તાપમાનના ઉપયોગ માટે યોગ્ય બનાવે છે.
સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં ગ્રેનાઈટ ભાગોની પ્રક્રિયા તકનીકમાં વિવિધ તકનીકો અને પ્રક્રિયાઓનો સમાવેશ થાય છે. આવશ્યક પગલાં ગ્રેનાઈટ સપાટીને પોલિશ કરવા, કોતરણી કરવા અને સાફ કરવા છે. ઉપયોગમાં લેવાતી પ્રક્રિયા તકનીકનો પ્રકાર એપ્લિકેશન અને ઉપયોગમાં લેવાતા ગ્રેનાઈટના પ્રકાર પર આધારિત રહેશે.
સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં ગ્રેનાઈટના ભાગોની પ્રક્રિયા કરવા માટે પોલિશિંગ એક મહત્વપૂર્ણ પાસું છે. ગ્રેનાઈટની સપાટીને ઉચ્ચ સ્તરની સરળતા સુધી પોલિશ કરવાથી ખાતરી કરવામાં મદદ મળે છે કે પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફરને નુકસાન ન થાય. આ વેફરની સપાટી પર કણો અથવા સ્ક્રેચ દ્વારા દૂષિત થવાની શક્યતા ઘટાડે છે. પોલિશિંગ વિવિધ પદ્ધતિઓ જેમ કે યાંત્રિક પોલિશિંગ, રાસાયણિક પોલિશિંગ અને ઇલેક્ટ્રોકેમિકલ પોલિશિંગ, વગેરે દ્વારા પ્રાપ્ત કરી શકાય છે.
સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં ગ્રેનાઈટ ભાગોની પ્રક્રિયા કરવા માટે એચિંગ એ બીજું મૂળભૂત પાસું છે. ગ્રેનાઈટ ભાગની સપાટી પર ઇચ્છિત પેટર્ન બનાવવા માટે એચિંગનો ઉપયોગ થાય છે. આ પેટર્નનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર વેફરના ઉત્પાદન અને પ્રક્રિયામાં થાય છે. એચિંગ કરવાની ઘણી રીતો છે, જેમાં પ્લાઝ્મા એચિંગ, વેટ કેમિકલ એચિંગ અને ડ્રાય કેમિકલ એચિંગનો સમાવેશ થાય છે. ઉપયોગમાં લેવાતી એચિંગ પ્રક્રિયાનો પ્રકાર સામગ્રી અને ઇચ્છિત પેટર્ન પર આધાર રાખે છે.
ગ્રેનાઈટ સપાટીની સફાઈ પણ ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે. સપાટી પરથી કોઈપણ દૂષકો, જેમ કે કણો અને અન્ય અશુદ્ધિઓ જે સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં દખલ કરી શકે છે તેને દૂર કરવા માટે સફાઈ પ્રક્રિયા જરૂરી છે. સફાઈ વિવિધ પદ્ધતિઓ જેમ કે અલ્ટ્રાસોનિક સફાઈ, રાસાયણિક સફાઈ અથવા પ્લાઝ્મા સફાઈ, વગેરેનો ઉપયોગ કરીને કરી શકાય છે.
નિષ્કર્ષમાં, સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં ગ્રેનાઈટ ભાગોની પ્રક્રિયા તકનીક સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે. ગ્રેનાઈટ ભાગોનો ઉપયોગ અંતિમ ઉત્પાદનની ગુણવત્તા અને વિશ્વસનીયતા સુધારવામાં મદદ કરે છે. પ્રક્રિયા તકનીકમાં ગ્રેનાઈટ સપાટીને પોલિશિંગ, એચિંગ અને સાફ કરવાનો સમાવેશ થાય છે. દરેક પગલા માટે વિવિધ પદ્ધતિઓ ઉપલબ્ધ છે, અને ઉપયોગમાં લેવાતી પ્રક્રિયા તકનીકનો પ્રકાર સામગ્રી અને ઇચ્છિત પેટર્ન પર આધાર રાખે છે. યોગ્ય પ્રક્રિયા તકનીકનો ઉપયોગ કરીને, સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાને વધુ કાર્યક્ષમ, વિશ્વસનીય અને ખર્ચ-અસરકારક બનાવી શકાય છે.
પોસ્ટ સમય: માર્ચ-૧૯-૨૦૨૪