ઘણા વર્ષોથી સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના ઉત્પાદન અને ડિઝાઇનમાં ગ્રેનાઈટનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે.આ તેના ઉત્તમ ગુણધર્મોને કારણે છે, જે તેને ઘણી એપ્લિકેશનો માટે એક આદર્શ સામગ્રી બનાવે છે.ગ્રેનાઈટ વસ્ત્રો, કાટ અને થર્મલ આંચકા માટે અત્યંત પ્રતિરોધક છે, જે તેને કઠોર વાતાવરણમાં ઉપયોગ માટે યોગ્ય બનાવે છે.આ લેખમાં, અમે સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં ગ્રેનાઈટના કેટલાક સામાન્ય કાર્યક્રમોની ચર્ચા કરીશું.
1. મેટ્રોલોજી સાધનો
મેટ્રોલોજી સાધનોનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોના પરિમાણો અને ગુણધર્મોને માપવા માટે થાય છે.ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ તેની ઉચ્ચ પરિમાણીય સ્થિરતાને કારણે આવા સાધનોના આધાર તરીકે થાય છે.ગ્રેનાઈટની સપાટીની સપાટતા અને ચોકસાઈ ચોક્કસ માપ માટે આદર્શ સંદર્ભ પૂરો પાડે છે.વધુમાં, ગ્રેનાઈટની થર્મલ સ્થિરતા તાપમાનના ફેરફારોને કારણે પરિમાણીય ફેરફારોનું જોખમ ઘટાડે છે.
2. ઓપ્ટિકલ સાધનો
ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ લિથોગ્રાફી મશીન જેવા ઓપ્ટિકલ સાધનોમાં પણ થાય છે, જેનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોના નિર્માણમાં થાય છે.ગ્રેનાઈટ બેઝ આ મશીનોમાં વપરાતા ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા ઓપ્ટિક્સ માટે સ્થિર પ્લેટફોર્મ પૂરું પાડે છે.ગ્રેનાઈટના ઉત્કૃષ્ટ સ્પંદન ભીનાશક ગુણધર્મો પણ સ્પંદનોને ઘટાડવામાં મદદ કરે છે જે ઓપ્ટિક્સની કામગીરી અને ચોકસાઈને અસર કરી શકે છે.
3. વેફર પ્રોસેસિંગ ઇક્વિપમેન્ટ
સેમિકન્ડક્ટર વેફર પ્રોસેસિંગમાં સફાઈ, એચિંગ અને ડિપોઝિશન સહિત અનેક પગલાંનો સમાવેશ થાય છે.વેફર પ્રોસેસિંગ સાધનોના કેટલાક ઘટકોમાં ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ થાય છે.દાખલા તરીકે, ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન (CVD) સાધનો માટે સબસ્ટ્રેટ તરીકે થાય છે, જેનો ઉપયોગ સિલિકોન વેફર પર પાતળી ફિલ્મો જમા કરવા માટે થાય છે.ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ એચીંગ ચેમ્બર અને અન્ય પ્રક્રિયા જહાજોના નિર્માણમાં પણ થાય છે, જ્યાં તેની ઉત્તમ રાસાયણિક પ્રતિકાર અને પરિમાણીય સ્થિરતા આવશ્યક છે.
4. પરીક્ષણ સાધનો
પરીક્ષણ સાધનોનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોની કામગીરી અને ગુણવત્તા ચકાસવા માટે થાય છે.ઉચ્ચ કઠોરતા અને સ્થિરતાને કારણે ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ ઘણીવાર પરીક્ષણ સાધનો માટે આધાર તરીકે થાય છે.ગ્રેનાઈટ બિન-ચુંબકીય અને બિન-વાહક પ્લેટફોર્મ પૂરું પાડે છે જે સંવેદનશીલ પરીક્ષણ સાધનોમાં દખલ દૂર કરે છે.ગ્રેનાઈટ સપાટીની સપાટતા અને ચોકસાઇ અત્યંત સચોટ પરીક્ષણ પરિણામો માટે પરવાનગી આપે છે.
નિષ્કર્ષ
નિષ્કર્ષમાં, સેમિકન્ડક્ટર સાધનોની ડિઝાઇન અને ઉત્પાદનમાં ગ્રેનાઈટ એક મહત્વપૂર્ણ સામગ્રી છે.પરિમાણીય સ્થિરતા, થર્મલ સ્થિરતા, રાસાયણિક પ્રતિરોધકતા અને વાઇબ્રેશન ડેમ્પનિંગ સહિત તેના ઉત્તમ ગુણધર્મો, તેને ઘણી એપ્લિકેશનો માટે એક આદર્શ સામગ્રી બનાવે છે.ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના કેટલાક મહત્ત્વના ઘટકોમાં થાય છે, જેમાં મેટ્રોલોજી સાધનો, ઓપ્ટિકલ સાધનો, વેફર પ્રોસેસિંગ સાધનો અને પરીક્ષણ સાધનોનો સમાવેશ થાય છે.જેમ જેમ ઝડપી, નાના અને વધુ શક્તિશાળી સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોની માંગ સતત વધી રહી છે, તેમ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ અનિવાર્ય રહેવાની શક્યતા છે.
પોસ્ટ સમય: એપ્રિલ-08-2024