ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ ઘણા વર્ષોથી સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના ઉત્પાદન અને ડિઝાઇનમાં વ્યાપકપણે કરવામાં આવે છે. આ તેના ઉત્તમ ગુણધર્મોને કારણે છે, જે તેને ઘણા ઉપયોગો માટે આદર્શ સામગ્રી બનાવે છે. ગ્રેનાઈટ ઘસારો, કાટ અને થર્મલ આંચકાઓ માટે ખૂબ જ પ્રતિરોધક છે, જે તેને કઠોર વાતાવરણમાં ઉપયોગ માટે યોગ્ય બનાવે છે. આ લેખમાં, આપણે સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં ગ્રેનાઈટના કેટલાક સામાન્ય ઉપયોગોની ચર્ચા કરીશું.
૧. મેટ્રોલોજી સાધનો
સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોના પરિમાણો અને ગુણધર્મો માપવા માટે મેટ્રોલોજી સાધનોનો ઉપયોગ થાય છે. ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ ઘણીવાર તેની ઉચ્ચ પરિમાણીય સ્થિરતાને કારણે આવા સાધનો માટે આધાર તરીકે થાય છે. ગ્રેનાઈટ સપાટીની સપાટતા અને ચોકસાઈ સચોટ માપન માટે એક આદર્શ સંદર્ભ પૂરો પાડે છે. વધુમાં, ગ્રેનાઈટની થર્મલ સ્થિરતા તાપમાનના ફેરફારોને કારણે પરિમાણીય ફેરફારોનું જોખમ ઘટાડે છે.
2. ઓપ્ટિકલ સાધનો
ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ લિથોગ્રાફી મશીનો જેવા ઓપ્ટિકલ સાધનોમાં પણ થાય છે, જેનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોના ઉત્પાદનમાં થાય છે. ગ્રેનાઈટનો આધાર આ મશીનોમાં વપરાતા ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા ઓપ્ટિક્સ માટે એક સ્થિર પ્લેટફોર્મ પૂરો પાડે છે. ગ્રેનાઈટના ઉત્તમ વાઇબ્રેશન ડેમ્પનિંગ ગુણધર્મો ઓપ્ટિક્સના પ્રદર્શન અને ચોકસાઈને અસર કરી શકે તેવા વાઇબ્રેશન ઘટાડવામાં પણ મદદ કરે છે.
3. વેફર પ્રોસેસિંગ સાધનો
સેમિકન્ડક્ટર વેફર પ્રોસેસિંગમાં સફાઈ, એચિંગ અને ડિપોઝિશન સહિત અનેક પગલાંનો સમાવેશ થાય છે. વેફર પ્રોસેસિંગ સાધનોના અનેક ઘટકોમાં ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ થાય છે. ઉદાહરણ તરીકે, ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશન (CVD) સાધનો માટે સબસ્ટ્રેટ તરીકે થાય છે, જેનો ઉપયોગ સિલિકોન વેફર પર પાતળા ફિલ્મ જમા કરવા માટે થાય છે. ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ એચિંગ ચેમ્બર અને અન્ય પ્રક્રિયા જહાજોના નિર્માણમાં પણ થાય છે, જ્યાં તેનો ઉત્તમ રાસાયણિક પ્રતિકાર અને પરિમાણીય સ્થિરતા જરૂરી છે.
૪. પરીક્ષણ સાધનો
સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોની કામગીરી અને ગુણવત્તા ચકાસવા માટે પરીક્ષણ સાધનોનો ઉપયોગ થાય છે. ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ તેની ઉચ્ચ કઠોરતા અને સ્થિરતાને કારણે ઘણીવાર પરીક્ષણ સાધનો માટે આધાર તરીકે થાય છે. ગ્રેનાઈટ એક બિન-ચુંબકીય અને બિન-વાહક પ્લેટફોર્મ પૂરું પાડે છે જે સંવેદનશીલ પરીક્ષણ સાધનોમાં દખલગીરી દૂર કરે છે. ગ્રેનાઈટ સપાટીની સપાટતા અને ચોકસાઈ અત્યંત સચોટ પરીક્ષણ પરિણામો માટે પરવાનગી આપે છે.
નિષ્કર્ષ
નિષ્કર્ષમાં, ગ્રેનાઈટ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોની ડિઝાઇન અને ઉત્પાદનમાં એક મહત્વપૂર્ણ સામગ્રી છે. તેના ઉત્તમ ગુણધર્મો, જેમાં પરિમાણીય સ્થિરતા, થર્મલ સ્થિરતા, રાસાયણિક પ્રતિકાર અને કંપન ભીનાશનો સમાવેશ થાય છે, તેને ઘણા ઉપયોગો માટે એક આદર્શ સામગ્રી બનાવે છે. ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના ઘણા મહત્વપૂર્ણ ઘટકોમાં થાય છે, જેમાં મેટ્રોલોજી સાધનો, ઓપ્ટિકલ સાધનો, વેફર પ્રોસેસિંગ સાધનો અને પરીક્ષણ સાધનોનો સમાવેશ થાય છે. જેમ જેમ ઝડપી, નાના અને વધુ શક્તિશાળી સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોની માંગ વધતી જાય છે, તેમ તેમ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ આવશ્યક રહેવાની શક્યતા છે.
પોસ્ટ સમય: એપ્રિલ-૦૮-૨૦૨૪