સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયા ઉત્પાદન માટે ગ્રેનાઈટ ઘટકોની ખામી

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં ગ્રેનાઈટના ઘટકોનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ કરવામાં આવ્યો છે કારણ કે તેમની શ્રેષ્ઠ લાક્ષણિકતાઓ જેમ કે શ્રેષ્ઠ સપાટી પૂર્ણાહુતિ, ઉચ્ચ કઠોરતા અને ઉત્તમ કંપન ભીનાશ.ગ્રેનાઈટ ઘટકો સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશન સાધનો માટે આવશ્યક છે, જેમાં લિથોગ્રાફી મશીનો, પોલિશિંગ મશીનો અને મેટ્રોલોજી સિસ્ટમ્સનો સમાવેશ થાય છે કારણ કે તે ઉત્પાદન પ્રક્રિયા દરમિયાન ચોક્કસ સ્થિતિ અને સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે.ગ્રેનાઈટ ઘટકોનો ઉપયોગ કરવાના તમામ ફાયદા હોવા છતાં, તેમાં ખામીઓ પણ છે.આ લેખમાં, અમે સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયા ઉત્પાદનો માટે ગ્રેનાઈટ ઘટકોની ખામીઓની ચર્ચા કરીશું.

પ્રથમ, ગ્રેનાઈટ ઘટકોમાં ઉચ્ચ થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક હોય છે.તેનો અર્થ એ છે કે તેઓ થર્મલ તણાવ હેઠળ નોંધપાત્ર રીતે વિસ્તરે છે, જે ઉત્પાદન પ્રક્રિયા દરમિયાન સમસ્યાઓનું કારણ બની શકે છે.સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ પ્રક્રિયાને ઉચ્ચ ચોકસાઇ અને પરિમાણીય ચોકસાઈની જરૂર છે જે થર્મલ તણાવને કારણે ચેડા થઈ શકે છે.દાખલા તરીકે, થર્મલ વિસ્તરણને કારણે સિલિકોન વેફર વિકૃતિ લિથોગ્રાફી દરમિયાન સંરેખણ સમસ્યાઓનું કારણ બની શકે છે, જે સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણની ગુણવત્તા સાથે સમાધાન કરી શકે છે.

બીજું, ગ્રેનાઈટ ઘટકોમાં છિદ્રાળુતા ખામી હોય છે જે સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં વેક્યુમ લીકનું કારણ બની શકે છે.સિસ્ટમમાં હવા અથવા અન્ય કોઈપણ ગેસની હાજરી વેફરની સપાટી પર દૂષણનું કારણ બની શકે છે, પરિણામે ખામીઓ કે જે સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણની કામગીરીને અસર કરી શકે છે.આર્ગોન અને હિલીયમ જેવા નિષ્ક્રિય વાયુઓ છિદ્રાળુ ગ્રેનાઈટ ઘટકોમાં પ્રવેશી શકે છે અને ગેસ પરપોટા બનાવી શકે છે જે શૂન્યાવકાશ પ્રક્રિયાની અખંડિતતામાં દખલ કરી શકે છે.

ત્રીજું, ગ્રેનાઈટના ઘટકોમાં માઇક્રોફ્રેક્ચર હોય છે જે ઉત્પાદન પ્રક્રિયાની ચોકસાઈમાં દખલ કરી શકે છે.ગ્રેનાઈટ એ બરડ સામગ્રી છે જે સમય જતાં માઇક્રોફ્રેક્ચર વિકસાવી શકે છે, ખાસ કરીને જ્યારે સતત તણાવ ચક્રના સંપર્કમાં આવે છે.માઇક્રોફ્રેક્ચર્સની હાજરી પરિમાણીય અસ્થિરતા તરફ દોરી શકે છે, જે ઉત્પાદન પ્રક્રિયા દરમિયાન નોંધપાત્ર સમસ્યાઓનું કારણ બને છે, જેમ કે લિથોગ્રાફી ગોઠવણી અથવા વેફર પોલિશિંગ.

ચોથું, ગ્રેનાઈટ ઘટકોમાં મર્યાદિત સુગમતા હોય છે.સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ પ્રક્રિયાને લવચીક સાધનોની જરૂર છે જે વિવિધ પ્રક્રિયા ફેરફારોને સમાવી શકે.જો કે, ગ્રેનાઈટના ઘટકો કઠોર છે અને વિવિધ પ્રક્રિયા ફેરફારોને અનુકૂલિત કરી શકતા નથી.તેથી, ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં કોઈપણ ફેરફારો ગ્રેનાઈટના ઘટકોને દૂર કરવા અથવા બદલવાની જરૂર પડે છે, જે ડાઉનટાઇમ તરફ દોરી જાય છે અને ઉત્પાદકતાને અસર કરે છે.

પાંચમું, ગ્રેનાઈટના ઘટકોને તેમના વજન અને નાજુકતાને કારણે ખાસ હેન્ડલિંગ અને પરિવહનની જરૂર પડે છે.ગ્રેનાઈટ એક ગાઢ અને ભારે સામગ્રી છે જેને ક્રેન્સ અને લિફ્ટર જેવા વિશિષ્ટ હેન્ડલિંગ સાધનોની જરૂર હોય છે.વધુમાં, ગ્રેનાઈટના ઘટકોને શિપમેન્ટ દરમિયાન નુકસાન અટકાવવા માટે સાવચેતીપૂર્વક પેકિંગ અને પરિવહનની જરૂર પડે છે, જે વધારાના ખર્ચ અને સમય તરફ દોરી જાય છે.

નિષ્કર્ષમાં, ગ્રેનાઈટ ઘટકોમાં કેટલીક ખામીઓ છે જે સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયા ઉત્પાદનોની ગુણવત્તા અને ઉત્પાદકતાને અસર કરી શકે છે.આ ખામીઓને ગ્રેનાઈટના ઘટકોના કાળજીપૂર્વક હેન્ડલિંગ અને જાળવણી દ્વારા ઘટાડી શકાય છે, જેમાં માઇક્રોફ્રેક્ચર અને પોરોસિટી ખામીઓ માટે સમયાંતરે તપાસ, દૂષણને રોકવા માટે યોગ્ય સફાઈ અને પરિવહન દરમિયાન સાવચેતીપૂર્વક હેન્ડલિંગનો સમાવેશ થાય છે.ખામીઓ હોવા છતાં, ગ્રેનાઈટ ઘટકો તેમની શ્રેષ્ઠ સપાટીની પૂર્ણાહુતિ, ઉચ્ચ જડતા અને ઉત્કૃષ્ટ સ્પંદન ભીનાશને કારણે સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાનો મહત્વપૂર્ણ ભાગ રહે છે.