સેમિકન્ડક્ટર પ્રિસિઝન સ્ટેજ અને એડવાન્સ્ડ મેટ્રોલોજીમાં ગ્રેનાઈટની મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા

વૈશ્વિક સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ હાલમાં "એંગસ્ટ્રોમ યુગ" ના અવિરત પ્રયાસમાં રોકાયેલ છે, જ્યાં ટ્રાન્ઝિસ્ટરના પરિમાણો ફક્ત થોડા અણુઓની પહોળાઈમાં માપવામાં આવે છે. લિથોગ્રાફી અને નિરીક્ષણ સાધનો આ સૂક્ષ્મ ભીંગડામાં સંક્રમણ થતાં, માળખાકીય સ્થિરતાની માંગ "મેક્રો" થી "નેનો" તરફ સ્થળાંતરિત થઈ છે. આ ક્રાંતિના કેન્દ્રમાં એક સામગ્રી રહેલી છે જે પૃથ્વી જેટલી જ પ્રાચીન છે: પ્રિસિઝન ગ્રેનાઈટ.

જ્યારે ઘણા લોકો ગ્રેનાઈટને એક સરળ પથ્થર તરીકે જુએ છે, ત્યારે સંદર્ભમાંનેનોપોઝિશનિંગ સ્ટેજઅથવા હાઇ-સ્પીડ વેફર નિરીક્ષણ સિસ્ટમ, તે એક અત્યાધુનિક એન્જિનિયરિંગ સિરામિક છે. સિલિકોન ફેબ્રિકેશનમાં શક્ય હોય તેવી સીમાઓને આગળ વધારવા માંગતા OEM માટે મૂળભૂત મેટ્રોલોજી ટૂલ્સ અને અદ્યતન ગતિ પ્લેટફોર્મ વચ્ચેનો તફાવત સમજવો જરૂરી છે.

ગ્રેનાઈટ સીએમએમ વિરુદ્ધ ગ્રેનાઈટ સરફેસ પ્લેટ: એન્જિનિયરિંગ શિફ્ટને સમજવું

ઘણી ગુણવત્તા નિયંત્રણ પ્રયોગશાળાઓમાં,ગ્રેનાઈટ સપાટી પ્લેટએક સર્વવ્યાપી ફિક્સ્ચર છે - મેન્યુઅલ માપન માટે એક વિશ્વસનીય, સપાટ સંદર્ભ. જો કે, એક સામાન્ય ગેરસમજ છે કે સપાટી પ્લેટ અને ગ્રેનાઈટ CMM (કોઓર્ડિનેટ મેઝરિંગ મશીન) બેઝ એકબીજાના પરસ્પર બદલી શકાય છે. એન્જિનિયરિંગ દ્રષ્ટિકોણથી, તેઓ જટિલતાના બે અલગ અલગ સ્તરોનું પ્રતિનિધિત્વ કરે છે.

સપાટી પ્લેટ સ્થિર સ્થિરતા માટે રચાયેલ છે. તેનું પ્રાથમિક કાર્ય સ્થિર ભાર હેઠળ સપાટ રહેવાનું છે. તેનાથી વિપરીત, CMM અથવા ચોકસાઇ સ્ટેજ માટે ગ્રેનાઈટ બેઝ ગતિશીલ ભારને સંભાળે છે. જેમ જેમ CMM નો પુલ ફરે છે અથવા રેખીય મોટર અનેક Gs પર વેફર સ્ટેજને વેગ આપે છે, ગ્રેનાઈટ ફક્ત વળાંક જ નહીં, પરંતુ ટોર્સિયન અને હાર્મોનિક રેઝોનન્સનો પણ પ્રતિકાર કરે છે.

ZHHIMG ના ઇજનેરો ખાસ કરીને ગતિશીલ એપ્લિકેશનો માટે "બ્લેક ગ્રેનાઈટ" પસંદ કરે છે કારણ કે તેની ઘનતા વધુ હોય છે અને અનાજનું માળખું વધુ બારીક હોય છે. જ્યારે પ્રમાણભૂત સપાટી પ્લેટ વધુ છિદ્રાળુ વિવિધતાનો ઉપયોગ કરી શકે છે, ત્યારે CMM બેઝને શક્ય તેટલું ઉચ્ચતમ યંગ્સ મોડ્યુલસની જરૂર પડે છે જેથી ખાતરી કરી શકાય કે હાઇ-સ્પીડ હિલચાલનો "સ્નેપ" માળખાકીય રિંગિંગમાં રૂપાંતરિત ન થાય જે માપન ડેટાને દૂષિત કરશે.

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં ચોકસાઇ તબક્કાઓ: ઉપજનો પાયો

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં, થ્રુપુટ અને યીલ્ડ એ બે સૌથી મહત્વપૂર્ણ માપદંડ છે. બંને સીધા પ્રદર્શન પર આધારિત છેચોકસાઇ તબક્કાઓ. ભલે તે DUV/EUV લિથોગ્રાફી મશીનમાં વેફર સ્ટેજ હોય ​​કે ઓટોમેટેડ ઓપ્ટિકલ ઇન્સ્પેક્શન (AOI) ટૂલમાં પોઝિશનિંગ સિસ્ટમ હોય, બેઝ મટીરીયલ સબ-નેનોમીટર રિપીટેબિલિટીને સરળ બનાવવું જોઈએ.

ફેબમાં મુખ્ય પડકાર ગરમીનો છે. લીનિયર મોટર્સ અને એક્ટ્યુએટર્સ નોંધપાત્ર થર્મલ ઉર્જા ઉત્પન્ન કરે છે. જો સ્ટેજ બેઝ એલ્યુમિનિયમ અથવા સ્ટીલનો બનેલો હોત, તો પરિણામી થર્મલ વિસ્તરણ વેફરને ગોઠવણીમાંથી બહાર ખસેડશે, જેના કારણે "ઓવરલે ભૂલો" થશે જે ચિપ્સના સમગ્ર બેચને બગાડે છે.

ગ્રેનાઈટનો અત્યંત ઓછો થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક (CTE) ખાતરી કરે છે કે મોટર્સ ગરમ થાય ત્યારે પણ, સ્ટેજનો ભૌતિક "નકશો" સ્થિર રહે છે. વધુમાં, ZHHIMG સંકલિત એર બેરિંગ રીતો સાથે કસ્ટમાઇઝ્ડ ગ્રેનાઈટ ઘટકો પ્રદાન કરે છે. કારણ કે ગ્રેનાઈટને અરીસા જેવી સપાટતા પર લપેટી શકાય છે, તે એર બેરિંગ્સ માટે સંપૂર્ણ કાઉન્ટર-ફેસ તરીકે સેવા આપે છે, જે સ્ટેજને શૂન્ય ઘર્ષણ અને શૂન્ય સ્ટિક્શન સાથે હવાની પાતળી ફિલ્મ પર "તરવા" દે છે.

નેનોપોઝિશનિંગ સ્ટેજ બેઝનું ભૌતિકશાસ્ત્ર

જ્યારે આપણે ના ક્ષેત્રમાં પ્રવેશીએ છીએનેનોપોઝિશનિંગ સ્ટેજ, આપણે માનવ વાળ કરતા 10,000 ના પરિબળ જેટલી નાની હલનચલનનો સામનો કરી રહ્યા છીએ. આ સ્તરે, કંપન દુશ્મન છે. HVAC સિસ્ટમ્સ, પગપાળા ટ્રાફિક અને નજીકની મશીનરીને કારણે માનક ઔદ્યોગિક માળ સતત વાઇબ્રેટ થાય છે.

ગ્રેનાઈટ એક વિશાળ લો-પાસ ફિલ્ટર તરીકે કામ કરે છે. તેના ઊંચા દળ અને ઊંચા આંતરિક ભીનાશને કારણે, તે સંવેદનશીલ સેન્સર અથવા વેફર સુધી પહોંચે તે પહેલાં કુદરતી રીતે ઉચ્ચ-આવર્તન સ્પંદનોને શોષી લે છે. આ "નિષ્ક્રિય આઇસોલેશન" એ કારણ છે કે વિશ્વના અગ્રણી લિથોગ્રાફી સપ્લાયર્સ તેમના વેક્યુમ-સુસંગત તબક્કાઓ માટે ભારે, સ્થિર પાયા પૂરા પાડવા માટે ZHHIMG પર આધાર રાખે છે. અમારા ગ્રેનાઈટને ખાસ કરીને શૂન્ય આઉટગેસિંગ સુનિશ્ચિત કરવા માટે ટ્રીટ કરવામાં આવે છે, જે તેને ઇલેક્ટ્રોન-બીમ અને EUV પ્રક્રિયાઓ માટે જરૂરી ઉચ્ચ-વેક્યુમ વાતાવરણ માટે યોગ્ય બનાવે છે.

મર્યાદા સુધી લૅપિંગ: ZHHIMG નો ફાયદો

પથ્થરના કાચા બ્લોકથી સેમિકન્ડક્ટર-ગ્રેડ ઘટકમાં સંક્રમણ એ અત્યંત ધીરજની સફર છે. જ્યારે CNC ગ્રાઇન્ડીંગ આપણને નજીક લાવે છે, ત્યારે અંતિમ "સુપર-પ્રિસિઝન" ગ્રેડ હાથથી લૅપિંગ દ્વારા પ્રાપ્ત થાય છે. આ એક એવી પ્રક્રિયા છે જ્યાં ZHHIMG ટેકનિશિયન એક સમયે માઇક્રોનના અપૂર્ણાંકને દૂર કરવા માટે ઘર્ષક પેસ્ટ અને મેન્યુઅલ હલનચલનનો ઉપયોગ કરે છે.

માટેનેનોપોઝિશનિંગ સ્ટેજ, સપાટતા એકમાત્ર જરૂરિયાત નથી; માર્ગદર્શિકા સપાટીઓની સમાંતરતા અને લંબરૂપતા પણ એટલી જ મહત્વપૂર્ણ છે. અમારી સુવિધા દરેક અક્ષ સંપૂર્ણ રીતે ગોઠવાયેલ છે તે ચકાસવા માટે 0.1 આર્ક-સેકન્ડના રિઝોલ્યુશનવાળા લેસર ટ્રેકર્સ અને ઇલેક્ટ્રોનિક સ્તરોનો ઉપયોગ કરે છે. કારીગરીનું આ સ્તર ખાતરી કરે છે કે જ્યારે ગ્રાહક તેમના રેખીય મોટર્સ અને એન્કોડર્સને માઉન્ટ કરે છે, ત્યારે યાંત્રિક પાયો ભૌતિકશાસ્ત્ર પરવાનગી આપે છે તેટલો "સંપૂર્ણ" ની નજીક છે.

ભવિષ્યને સાબિત કરતી ફેબ

જેમ જેમ ઉદ્યોગ 2nm નોડ્સ અને તેનાથી આગળ વધે છે, તેમ તેમ સામગ્રીની શુદ્ધતા અને પરિમાણીય સ્થિરતા માટેની આવશ્યકતાઓ વધુ તીવ્ર બનશે. ગ્રેનાઈટનું અન્ય અદ્યતન સામગ્રી સાથે એકીકરણ - જેમ કે કાર્બન ફાઇબર બ્રિજ અથવા સિરામિક વેક્યુમ ચક - ગતિ નિયંત્રણમાં આગામી સીમા છે.

ZHHIMG ફક્ત એક સપ્લાયર બનવા કરતાં વધુ બનવા માટે પ્રતિબદ્ધ છે; અમે વૈશ્વિક સેમિકન્ડક્ટર સપ્લાય ચેઇનમાં સહયોગી ભાગીદાર છીએ. આગામી પેઢીના ચોકસાઇ તબક્કાઓ માટે જરૂરી અતિ-સ્થિર પાયા પૂરા પાડીને, અમે ભવિષ્યનું નિર્માણ કરતા મશીનો બનાવવામાં મદદ કરી રહ્યા છીએ.