ગ્રેનાઈટ બેઝનો ઉપયોગ કરીને સિંગલ એક્સિસ એર ફ્લોટ અલ્ટ્રા-પ્રિસિઝન મોશન મોડ્યુલનું એપ્લિકેશન ફીલ્ડ.

સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ: ચિપ મેન્યુફેક્ચરિંગ પ્રક્રિયામાં, ફોટોલિથોગ્રાફી પ્રક્રિયામાં સર્કિટ પેટર્નને વેફરમાં ચોક્કસ રીતે ટ્રાન્સફર કરવાની જરૂર પડે છે. સિંગલ એક્સિસ એર ફ્લોટિંગ અલ્ટ્રા-પ્રિસિઝન મોશન મોડ્યુલનો ગ્રેનાઈટ બેઝ લિથોગ્રાફી સાધનોમાં વેફર ટેબલ માટે ઉચ્ચ ચોકસાઇ પોઝિશનિંગ અને સ્થિર સપોર્ટ પૂરો પાડી શકે છે. ઉદાહરણ તરીકે, ASML અને અન્ય આંતરરાષ્ટ્રીય સ્તરે પ્રખ્યાત લિથોગ્રાફી મશીન ઉત્પાદકો તેમના ઉચ્ચ-અંતિમ સાધનોમાં ગ્રેનાઈટ બેઝ એર ફ્લોટિંગ મોશન મોડ્યુલ્સનો ઉપયોગ કરે છે, જે લિથોગ્રાફી પેટર્નની ચોકસાઈ સુનિશ્ચિત કરવા માટે નેનોમીટર સ્તરે વેફરની પોઝિશનિંગ ચોકસાઈને નિયંત્રિત કરી શકે છે, જેનાથી ચિપનું એકીકરણ અને પ્રદર્શન સુધરે છે.
ચોકસાઇ માપન ક્ષેત્ર: CMM એ સામાન્ય રીતે ઔદ્યોગિક ઉત્પાદનમાં ઉપયોગમાં લેવાતું એક ચોકસાઇ માપન ઉપકરણ છે, જેનો ઉપયોગ વર્કપીસના કદ, આકાર અને સ્થિતિની ચોકસાઈ માપવા માટે થાય છે. ગ્રેનાઈટ બેઝ પર સિંગલ એક્સિસ એર ફ્લોટના અલ્ટ્રા-પ્રિસિઝન મોશન મોડ્યુલનો ઉપયોગ CMM ના ગતિ પ્લેટફોર્મ તરીકે થઈ શકે છે, જે ઉચ્ચ-ચોકસાઇ રેખીય ગતિને સાકાર કરી શકે છે અને માપન પ્રોબ માટે સ્થિર ગતિ માર્ગ પ્રદાન કરી શકે છે. ઉદાહરણ તરીકે, હેક્સાગોનનું હાઇ-એન્ડ CMM માઇક્રોન સ્તર સુધી માપન ચોકસાઈ સાથે મોટા અને જટિલ ભાગોને માપવા માટે આ સંયોજનનો ઉપયોગ કરે છે, જે ઓટોમોટિવ, એરોસ્પેસ અને અન્ય ઉદ્યોગોમાં ભાગો ગુણવત્તા નિયંત્રણ માટે મજબૂત ગેરંટી પૂરી પાડે છે.
એરોસ્પેસ ક્ષેત્ર: એરોસ્પેસ ભાગોની પ્રક્રિયા અને પરીક્ષણમાં, ઉચ્ચ ચોકસાઇ જરૂરી છે. ઉદાહરણ તરીકે, એરક્રાફ્ટ એન્જિન બ્લેડના મશીનિંગ માટે બ્લેડ પ્રોફાઇલ ચોકસાઈ સુનિશ્ચિત કરવા માટે ટૂલની ગતિ માર્ગનું ચોક્કસ નિયંત્રણ જરૂરી છે. સિંગલ એક્સિસ એર ફ્લોટ અલ્ટ્રા-પ્રિસિઝન મોશન મોડ્યુલનો ગ્રેનાઈટ બેઝ ટૂલ માટે ઉચ્ચ-ચોકસાઇ ગતિ નિયંત્રણ પ્રદાન કરવા અને બ્લેડની મશીનિંગ ચોકસાઈ ડિઝાઇન આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરી શકે છે તેની ખાતરી કરવા માટે પાંચ-અક્ષ મશીનિંગ સેન્ટર અને અન્ય સાધનો પર લાગુ કરી શકાય છે. તે જ સમયે, એરો એન્જિનની એસેમ્બલી પ્રક્રિયામાં, ભાગોની એસેમ્બલી ચોકસાઈ શોધવા માટે ઉચ્ચ-ચોકસાઇ માપન સાધનોનો ઉપયોગ કરવો પણ જરૂરી છે. ગ્રેનાઈટ બેઝનું એર ફ્લોટિંગ મોશન મોડ્યુલ એસેમ્બલી ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરવા માટે માપન સાધનો માટે સ્થિર સપોર્ટ અને સચોટ હિલચાલ પ્રદાન કરી શકે છે.
ઓપ્ટિકલ નિરીક્ષણ ક્ષેત્ર: ઓપ્ટિકલ ઘટકોના ઉત્પાદન અને પરીક્ષણ પ્રક્રિયામાં, ઓપ્ટિકલ ઘટકોનું ઉચ્ચ-ચોકસાઇ સ્થિતિ અને માપન કરવું જરૂરી છે. ઉદાહરણ તરીકે, અરીસાઓ અને લેન્સ જેવા ઉચ્ચ-ચોકસાઇ ઓપ્ટિકલ ઘટકોનું ઉત્પાદન કરતી વખતે, સપાટીના આકારની ચોકસાઈ શોધવા માટે ઇન્ટરફેરોમીટર અને અન્ય સાધનોનો ઉપયોગ કરવો જરૂરી છે. સિંગલ એક્સિસ એર ફ્લોટિંગ અલ્ટ્રા-પ્રિસિઝન મોશન મોડ્યુલના ગ્રેનાઈટ બેઝનો ઉપયોગ ઇન્ટરફેરોમીટરના મૂવમેન્ટ પ્લેટફોર્મ તરીકે થઈ શકે છે, જે સબ-માઇક્રોન પોઝિશનિંગ ચોકસાઈને અનુભવી શકે છે અને ઓપ્ટિકલ ઘટકોની શોધ માટે સચોટ ડેટા સપોર્ટ પૂરો પાડી શકે છે. વધુમાં, લેસર પ્રોસેસિંગ સાધનોમાં, લેસર બીમના સ્કેનિંગ ટ્રેજેક્ટરીને નિયંત્રિત કરવા માટે ઉચ્ચ-ચોકસાઇ ગતિ પ્લેટફોર્મનો ઉપયોગ કરવો પણ જરૂરી છે, એર ફ્લોટિંગ મોશન મોડ્યુલનો ગ્રેનાઈટ બેઝ આ જરૂરિયાતને પૂર્ણ કરી શકે છે, ઉચ્ચ-ચોકસાઇ લેસર પ્રોસેસિંગ પ્રાપ્ત કરવા માટે.