સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયા ઉપકરણ ઉત્પાદનો માટે ગ્રેનાઈટ એસેમ્બલીના એપ્લિકેશન ક્ષેત્રો

ગ્રેનાઈટ એક પ્રકારનો સખત ખડક છે જે સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન ઉદ્યોગમાં એક અનિવાર્ય સામગ્રી બની ગયો છે. તેના ગુણધર્મો તેને ઊંચા તાપમાનનો સામનો કરવાની મંજૂરી આપે છે, જે તેને સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણ ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓના વિવિધ તબક્કામાં ઉપયોગ માટે આદર્શ બનાવે છે. પરિણામે, ગ્રેનાઈટ એસેમ્બલીને સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયા ઉપકરણ ઉત્પાદનોમાં વ્યાપક એપ્લિકેશન ક્ષેત્રો મળ્યા છે.

ગ્રેનાઈટ એસેમ્બલીનો સૌથી વધુ ઉપયોગમાં લેવાતો ઉપયોગ ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા મશીન ટૂલ સ્ટ્રક્ચર્સના નિર્માણમાં છે. ગ્રેનાઈટની કઠોરતા અને સ્થિરતા ઓછા અથવા કોઈ વિકૃતિ વિના ચોક્કસ અને સચોટ સાધનોનું ઉત્પાદન શક્ય બનાવે છે. આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન જેવી સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓમાં આ સ્તરની ચોકસાઈ જરૂરી છે, જ્યાં બીમને વેફર પર સચોટ રીતે દિશામાન કરવી આવશ્યક છે.

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં ગ્રેનાઈટ એસેમ્બલીનો બીજો ઉપયોગ મેટ્રોલોજી સાધનોના નિર્માણમાં છે. સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓમાં મેટ્રોલોજી સાધનો મહત્વપૂર્ણ છે કારણ કે તે ઉત્પાદિત ઉપકરણોની ચોકસાઈને માપે છે અને ચકાસે છે. ગ્રેનાઈટની પરિમાણીય સ્થિરતા, ઓછી થર્મલ વિસ્તરણ અને ઉત્તમ વાઇબ્રેશન ડેમ્પિંગ ગુણધર્મો તેને મેટ્રોલોજી સાધનોના નિર્માણમાં પસંદગીની સામગ્રી બનાવે છે. આમાં વેફરના સ્ટેજીંગ અને નિરીક્ષણમાં ઉપયોગમાં લેવાતી મોટી ગ્રેનાઈટ સપાટીઓનો સમાવેશ થાય છે.

ઓપ્ટિકલ કોષ્ટકો સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં ગ્રેનાઈટ એસેમ્બલીના વ્યાપક ઉપયોગનું બીજું એક ક્ષેત્ર છે. ડેટા કમ્યુનિકેશન માટે વેવગાઇડ્સ જેવા ઓપ્ટિકલ ઉપકરણોના પરીક્ષણમાં ઓપ્ટિકલ કોષ્ટકોનો ઉપયોગ થાય છે. ગ્રેનાઈટની સપાટતા, ઓછી થર્મલ વિસ્તરણ, ઉચ્ચ કઠોરતા અને યાંત્રિક સ્થિરતા તેને ઓપ્ટિક્સના માઉન્ટિંગ અને પોઝિશનિંગ માટે ખૂબ જ સ્થિર સપાટી પ્રદાન કરવા સક્ષમ બનાવે છે. ગ્રેનાઈટ ઓપ્ટિકલ કોષ્ટકો ઓપ્ટિકલ ઉપકરણોના સચોટ, ચોક્કસ પરીક્ષણ કરવા માટે જરૂરી સ્થિરતા અને કઠોરતા પ્રદાન કરી શકે છે.

વેફર ચક અને સ્ટેજના નિર્માણમાં પણ ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ થાય છે. સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયા દરમિયાન, ચોકસાઇ ગોઠવણી અને સ્થિતિ નિયંત્રણ મહત્વપૂર્ણ છે. વેફર ચક, જે પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફરને સ્થાને રાખે છે, ઉચ્ચ તાપમાન અને શૂન્યાવકાશ પરિસ્થિતિઓનો સામનો કરતી વખતે સ્થિતિની ચોકસાઈ જાળવી રાખવી જોઈએ. ગ્રેનાઈટમાં તાપમાનની વિશાળ શ્રેણીમાં ઉત્તમ પરિમાણીય સ્થિરતા હોય છે અને તે શૂન્યાવકાશ પરિસ્થિતિઓનો સામનો કરી શકે છે, જે તેને વેફર ચકના નિર્માણ માટે આદર્શ બનાવે છે. સેમિકન્ડક્ટર ફેબ્રિકેશન પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફરને એક સ્થાનથી બીજી સ્થિતિમાં ખસેડવામાં ઉપયોગમાં લેવાતા તબક્કાઓ હલનચલનના ચક્રીય ક્રમમાંથી પસાર થાય છે. ગ્રેનાઈટ એસેમ્બલી સતત અને પુનરાવર્તિત ગતિવિધિઓને સહન કરવા માટે જરૂરી સ્થિરતા અને ટકાઉપણું પ્રદાન કરે છે.

સારાંશમાં, સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન ઉદ્યોગમાં ગ્રેનાઈટ એસેમ્બલીનો ઉપયોગ વિશાળ છે. પરિમાણીય સ્થિરતા, ઓછી થર્મલ વિસ્તરણ, ઉચ્ચ કઠોરતા અને વાઇબ્રેશન ડેમ્પિંગ જેવા તેના ગુણધર્મો તેને સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણ ઉત્પાદન પ્રક્રિયાઓના વિવિધ તબક્કામાં ઉપયોગ માટે એક આદર્શ સામગ્રી બનાવે છે. ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા મશીન ટૂલ્સ અને મેટ્રોલોજી સાધનોના નિર્માણથી લઈને ઓપ્ટિકલ ટેબલ અને વેફર સ્ટેજ અને ચક સુધી, ગ્રેનાઈટના ગુણધર્મો ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણ ઉત્પાદન પ્રાપ્ત કરવા માટે જરૂરી સ્થિરતા, ચોકસાઈ અને પુનરાવર્તિતતા પ્રદાન કરવામાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે.