ગ્રેનાઈટ ચોકસાઇ પ્લેટફોર્મ માપનની ચોકસાઈ પર આસપાસના તાપમાનના વધઘટના પ્રભાવના થ્રેશોલ્ડ પર અભ્યાસ.

ચોકસાઇ માપનના ક્ષેત્રમાં, ગ્રેનાઇટ ચોકસાઇ પ્લેટફોર્મ તેની ઉત્તમ સ્થિરતા, ઉચ્ચ કઠિનતા અને સારા વસ્ત્રો પ્રતિકાર સાથે, ઘણા ઉચ્ચ-ચોકસાઇ માપન કાર્ય માટે આદર્શ પાયો આધાર બની ગયું છે. જો કે, પર્યાવરણીય પરિબળોમાં તાપમાનના વધઘટ, જેમ કે અંધારામાં છુપાયેલા "ચોકસાઇ કિલર", ગ્રેનાઇટ ચોકસાઇ પ્લેટફોર્મની માપન ચોકસાઈ પર નજીવી અસર કરે છે. માપન કાર્યની ચોકસાઈ અને વિશ્વસનીયતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે પ્રભાવ થ્રેશોલ્ડની ઊંડાણપૂર્વક તપાસ કરવી ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે.

ગ્રેનાઈટ તેની સ્થિરતા માટે જાણીતું હોવા છતાં, તે તાપમાનના ફેરફારોથી મુક્ત નથી. તેના મુખ્ય ઘટકો ક્વાર્ટઝ, ફેલ્ડસ્પાર અને અન્ય ખનિજો છે, જે વિવિધ તાપમાને થર્મલ વિસ્તરણ અને સંકોચનની ઘટના ઉત્પન્ન કરશે. જ્યારે આસપાસનું તાપમાન વધે છે, ત્યારે ગ્રેનાઈટ ચોકસાઇ પ્લેટફોર્મ ગરમ અને વિસ્તૃત થાય છે, અને પ્લેટફોર્મનું કદ થોડું બદલાશે. જ્યારે તાપમાન ઘટશે, ત્યારે તે તેની મૂળ સ્થિતિમાં પાછું સંકોચાશે. દેખીતી રીતે નાના કદના ફેરફારોને ચોકસાઇ માપન પરિસ્થિતિઓમાં માપન પરિણામોને અસર કરતા મુખ્ય પરિબળોમાં વિસ્તૃત કરી શકાય છે.

ગ્રેનાઈટ પ્લેટફોર્મ સાથે મેળ ખાતા સામાન્ય કોઓર્ડિનેટ માપન સાધનને ઉદાહરણ તરીકે લેતા, ઉચ્ચ-ચોકસાઇ માપન કાર્યમાં, માપન ચોકસાઈની આવશ્યકતાઓ ઘણીવાર માઇક્રોન સ્તર અથવા તેનાથી પણ વધુ સુધી પહોંચે છે. એવું માનવામાં આવે છે કે 20℃ ના પ્રમાણભૂત તાપમાને, પ્લેટફોર્મના વિવિધ પરિમાણીય પરિમાણો આદર્શ સ્થિતિમાં હોય છે, અને વર્કપીસને માપીને સચોટ ડેટા મેળવી શકાય છે. જ્યારે આસપાસના તાપમાનમાં વધઘટ થાય છે, ત્યારે પરિસ્થિતિ ખૂબ જ અલગ હોય છે. મોટી સંખ્યામાં પ્રાયોગિક ડેટા આંકડા અને સૈદ્ધાંતિક વિશ્લેષણ પછી, સામાન્ય પરિસ્થિતિઓમાં, 1℃ ની પર્યાવરણીય તાપમાનની વધઘટ, ગ્રેનાઈટ ચોકસાઇ પ્લેટફોર્મનું રેખીય વિસ્તરણ અથવા સંકોચન લગભગ 5-7 ×10⁻⁶/℃ હોય છે. આનો અર્થ એ છે કે 1 મીટરની બાજુની લંબાઈવાળા ગ્રેનાઈટ પ્લેટફોર્મ માટે, જો તાપમાન 1°C દ્વારા બદલાય તો બાજુની લંબાઈ 5-7 માઇક્રોન દ્વારા બદલાઈ શકે છે. ચોકસાઇ માપનમાં, કદમાં આવો ફેરફાર સ્વીકાર્ય શ્રેણીની બહાર માપન ભૂલો પેદા કરવા માટે પૂરતો છે.
વિવિધ ચોકસાઈ સ્તરો દ્વારા જરૂરી માપન કાર્ય માટે, તાપમાનના વધઘટનો પ્રભાવ થ્રેશોલ્ડ પણ અલગ હોય છે. સામાન્ય ચોકસાઇ માપનમાં, જેમ કે યાંત્રિક ભાગોના કદ માપનમાં, જો માન્ય માપન ભૂલ ±20 માઇક્રોનની અંદર હોય, તો ઉપરોક્ત વિસ્તરણ ગુણાંક ગણતરી અનુસાર, સ્વીકાર્ય સ્તરે પ્લેટફોર્મના કદમાં ફેરફારને કારણે થતી માપન ભૂલને નિયંત્રિત કરવા માટે, તાપમાનના વધઘટને ± 3-4 ℃ ની રેન્જમાં નિયંત્રિત કરવાની જરૂર છે. સેમિકન્ડક્ટર ચિપ ઉત્પાદનમાં લિથોગ્રાફી પ્રક્રિયા માપન જેવા ઉચ્ચ ચોકસાઇ આવશ્યકતાઓ ધરાવતા વિસ્તારોમાં, ભૂલ ±1 માઇક્રોનની અંદર માન્ય છે, અને તાપમાનના વધઘટને ± 0.1-0.2 ° સે ની અંદર સખત રીતે નિયંત્રિત કરવાની જરૂર છે. એકવાર તાપમાનમાં વધઘટ આ થ્રેશોલ્ડ કરતાં વધી જાય, પછી ગ્રેનાઈટ પ્લેટફોર્મનું થર્મલ વિસ્તરણ અને સંકોચન માપન પરિણામોમાં વિચલનો લાવી શકે છે, જે ચિપ ઉત્પાદનના ઉપજને અસર કરશે.
ગ્રેનાઈટ ચોકસાઇ પ્લેટફોર્મની માપન ચોકસાઇ પર આસપાસના તાપમાનના વધઘટના પ્રભાવનો સામનો કરવા માટે, વ્યવહારુ કાર્યમાં ઘણીવાર ઘણા પગલાં અપનાવવામાં આવે છે. ઉદાહરણ તરીકે, ખૂબ જ નાની શ્રેણીમાં તાપમાનના વધઘટને નિયંત્રિત કરવા માટે માપન વાતાવરણમાં ઉચ્ચ ચોકસાઇવાળા સતત તાપમાન ઉપકરણો સ્થાપિત કરવામાં આવે છે; માપન ડેટા પર તાપમાન વળતર હાથ ધરવામાં આવે છે, અને માપન પરિણામો પ્લેટફોર્મના થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક અને રીઅલ-ટાઇમ તાપમાન ફેરફારો અનુસાર સોફ્ટવેર અલ્ગોરિધમ દ્વારા સુધારવામાં આવે છે. જો કે, ગમે તે પગલાં લેવામાં આવે, ગ્રેનાઈટ ચોકસાઇ પ્લેટફોર્મની માપન ચોકસાઈ પર આસપાસના તાપમાનના વધઘટના પ્રભાવની ચોક્કસ સમજ એ સચોટ અને વિશ્વસનીય માપન કાર્યને સુનિશ્ચિત કરવાનો આધાર છે.