વિવિધ સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોમાં ગ્રેનાઈટ બેડ એક મહત્વપૂર્ણ ઘટક છે.અત્યંત સ્થિર અને કઠોર સામગ્રી તરીકે, સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસિંગ સાધનોના આધાર તરીકે ગ્રેનાઈટનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે.તે તેના નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક, ઉચ્ચ પરિમાણીય સ્થિરતા અને ઉત્તમ યાંત્રિક ગુણધર્મો દ્વારા વર્ગીકૃત થયેલ છે.આ ગુણધર્મોને લીધે, ગ્રેનાઈટ બેડનો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે ત્રણ અલગ અલગ પ્રકારના સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોમાં થાય છે - મેટ્રોલોજી સાધનો, લિથોગ્રાફી સાધનો અને નિરીક્ષણ સાધનો.
મેટ્રોલોજી સાધનોનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોના નિર્ણાયક પરિમાણોને માપવા અને શોધવા માટે થાય છે.સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયાની ગુણવત્તા અને સુસંગતતા જાળવવામાં તે નિર્ણાયક ભૂમિકા ભજવે છે.મેટ્રોલોજીના સાધનોમાં ઓપ્ટિકલ માઈક્રોસ્કોપ, ઈલેક્ટ્રોન માઈક્રોસ્કોપ અને એટોમિક ફોર્સ માઈક્રોસ્કોપ (AFM) જેવા સાધનોનો સમાવેશ થાય છે.આ માપન સાધનોનું પ્રદર્શન તેમની સ્થિરતા, ચોકસાઈ અને કંપન પ્રતિકાર પર આધારિત હોવાથી, ગ્રેનાઈટ તેમના બેડ સામગ્રી માટે આદર્શ વિકલ્પ છે.ગ્રેનાઈટ બેડની એકરૂપતા અને સ્થિરતા સાધનો માટે સ્થિર પ્લેટફોર્મ પૂરું પાડે છે, જે તેમની ચોકસાઈ અને વિશ્વસનીયતા વધારે છે.
લિથોગ્રાફી સાધનોનો ઉપયોગ વેફર પર માઇક્રોચિપ પેટર્ન બનાવવા માટે થાય છે.લિથોગ્રાફી પ્રક્રિયાને જટિલ સર્કિટ બનાવવા અને ચિપ પ્રદર્શનને સુધારવા માટે ઉચ્ચ સ્તરની ચોકસાઇ અને ચોકસાઈની જરૂર છે.લિથોગ્રાફી સાધનોમાં સ્ટેપર અને સ્કેનર સિસ્ટમ્સનો સમાવેશ થાય છે જે વેફર પર છબીઓ સ્થાનાંતરિત કરવા માટે પ્રકાશનો ઉપયોગ કરે છે.લિથોગ્રાફી પ્રક્રિયા સ્પંદન અને થર્મલ ફેરફારો માટે અત્યંત સંવેદનશીલ હોવાથી, લિથોગ્રાફી પ્રક્રિયાની સ્થિરતા અને પુનરાવર્તિતતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે ઉચ્ચ ગુણવત્તાની પથારી આવશ્યક છે.ગ્રેનાઈટ પથારી લિથોગ્રાફી સિસ્ટમ માટે જરૂરી સ્થિરતા અને કડક કંપન ભીનાશ કામગીરી પ્રદાન કરે છે.ગ્રેનાઈટ બેડ સ્ટેપર અથવા સ્કેનર સિસ્ટમને ઉચ્ચ ચોકસાઈ અને અંતિમ ઉત્પાદન ગુણવત્તાની ખાતરી આપતા ચોક્કસ અવકાશી સંબંધો જાળવવા માટે પરવાનગી આપે છે.
સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોમાં કોઈપણ ખામીને શોધવા માટે નિરીક્ષણ સાધનોનો ઉપયોગ થાય છે.નિરીક્ષણ સાધનોમાં લેસર સ્કેનિંગ માઇક્રોસ્કોપ, ઇલેક્ટ્રોન માઇક્રોસ્કોપ અને ઓપ્ટિકલ માઇક્રોસ્કોપ જેવી સિસ્ટમ્સનો સમાવેશ થાય છે.આ ઉપકરણો અત્યંત સચોટ, સ્થિર અને કંપન-પ્રતિરોધક હોવાની જરૂરિયાત સાથે, ગ્રેનાઈટ પથારી સંપૂર્ણ સામગ્રી છે.ગ્રેનાઈટના યાંત્રિક ગુણધર્મો અને પરિમાણીય સ્થિરતા સ્પંદન અલગતામાં મદદ કરે છે, જે નિરીક્ષણ સાધનોના આઉટપુટની ચોકસાઈને વધારે છે.
નિષ્કર્ષમાં, ગ્રેનાઈટ બેડ સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ માટે નિર્ણાયક છે અને વિવિધ પ્રકારના સાધનોમાં તેનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે.તેના વિશિષ્ટ ગુણધર્મો જેમ કે પરિમાણીય સ્થિરતા, નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક અને ઉત્તમ યાંત્રિક સ્થિરતા ગ્રેનાઈટને સેમિકન્ડક્ટર સાધનોની બેડ સામગ્રી માટે આદર્શ પસંદગી બનાવે છે.ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા ગ્રેનાઈટ બેડ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોને જરૂરી સ્થિરતા, ચોકસાઇ અને કંપન પ્રતિકાર પ્રદાન કરે છે, તે આખરે અંતિમ ઉત્પાદનની ગુણવત્તામાં સુધારો કરે છે.તેથી, સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં ગ્રેનાઈટ બેડનો ઉપયોગ આવતા વર્ષો સુધી ચાલુ રહેવાની ખાતરી છે.
પોસ્ટ સમય: એપ્રિલ-03-2024