ગ્રેનાઈટ સામગ્રીનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં વ્યાપકપણે થાય છે કારણ કે તેમની ઉત્તમ લાક્ષણિકતાઓ, જેમ કે ઉચ્ચ સ્થિરતા, ઓછી થર્મલ વિસ્તરણ અને કાટ સામે ઉચ્ચ પ્રતિકાર. આ ગુણધર્મો ગ્રેનાઈટને વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમમાં ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા ઘટકો બનાવવા માટે એક આદર્શ સામગ્રી બનાવે છે.
સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં, વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમ ઉત્પાદન પ્રક્રિયાના વિવિધ તબક્કામાં વેફરના પરિવહનમાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે. આ સિસ્ટમો માટે ચોકસાઈ અને ચોકસાઈ આવશ્યક આવશ્યકતાઓ છે કારણ કે સહેજ વિચલનો પણ સમગ્ર પ્રક્રિયાને જોખમમાં મૂકી શકે છે. તેથી, વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમમાં ઘટકો ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળી સામગ્રીમાંથી બનેલા હોવા જોઈએ, અને ગ્રેનાઈટ તે માપદંડોને પૂર્ણ કરે છે.
ગ્રેનાઈટ સામગ્રીમાંથી બનેલા વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમના કેટલાક ભાગોમાં શામેલ છે:
૧. વેક્યુમ ચક ટેબલ
પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફરને પકડી રાખવા માટે વેક્યુમ ચક ટેબલનો ઉપયોગ થાય છે, અને વેફરને નુકસાન ન થાય તેની ખાતરી કરવા માટે તેની સપાટી સ્થિર હોવી જોઈએ. આ ટેબલ બનાવવા માટે ગ્રેનાઈટ એક આદર્શ સામગ્રી છે કારણ કે તેમાં સપાટ, છિદ્રાળુ સપાટી નથી જે ઉચ્ચ સ્થિરતા અને ચોકસાઇ પ્રદાન કરે છે. વધુમાં, ગ્રેનાઈટમાં થર્મલ વિસ્તરણનો ગુણાંક ઓછો હોય છે, જે તેને તાપમાનના ફેરફારો સામે પ્રતિરોધક બનાવે છે જે વેફરમાં પરિમાણીય ફેરફારો લાવી શકે છે.
2. એર-બેરિંગ સ્ટેજ
ઉત્પાદન પ્રક્રિયાના વિવિધ તબક્કાઓમાંથી વેફરને પરિવહન કરવા માટે એર-બેરિંગ સ્ટેજનો ઉપયોગ થાય છે. સ્ટેજ ઘર્ષણ રહિત ગતિ પ્રદાન કરવા માટે રચાયેલ છે, જેને ઉચ્ચ ચોકસાઇ અને સ્થિરતાની જરૂર છે. આ એપ્લિકેશનમાં ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ થાય છે કારણ કે તે એક કઠોર અને કઠણ પથ્થર છે, અને તે સમય જતાં વિકૃતિ અને ઘસારોનો પ્રતિકાર કરે છે.
3. રેખીય ગતિ માર્ગદર્શિકાઓ
રેખીય ગતિ માર્ગદર્શિકાઓનો ઉપયોગ એર-બેરિંગ સ્ટેજને માર્ગદર્શન આપવા માટે થાય છે, અને ભૂલો ઘટાડવા માટે તેમને ચોક્કસ રીતે સ્થિત કરવા આવશ્યક છે. આ માર્ગદર્શિકા બનાવવા માટે ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે કારણ કે તેમાં ઉત્તમ યાંત્રિક સ્થિરતા અને શક્તિ છે. આ સામગ્રી કાટ-પ્રતિરોધક પણ છે, જે માર્ગદર્શિકા સિસ્ટમની આયુષ્ય સુનિશ્ચિત કરે છે.
૪. મેટ્રોલોજી સાધનો
ઉત્પાદન પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફરના પરિમાણો અને ગુણધર્મો માપવા માટે મેટ્રોલોજી સાધનોનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે. ગ્રેનાઈટ આ સાધનો બનાવવા માટે એક આદર્શ સામગ્રી છે કારણ કે તેમાં ઉચ્ચ કઠિનતા, ઓછું વિસ્તરણ અને ભાર હેઠળ ન્યૂનતમ વિકૃતિ છે. વધુમાં, ગ્રેનાઈટની થર્મલ સ્થિરતા ખાતરી કરે છે કે મેટ્રોલોજી સાધનો સમય જતાં સ્થિર અને સચોટ રહે છે.
નિષ્કર્ષમાં, સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ ચોકસાઈ અને ચોકસાઈ પર આધાર રાખે છે, અને ગ્રેનાઈટ સામગ્રી ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં ખૂબ જ વિશ્વસનીય અને સ્થિર સાબિત થઈ છે. વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમમાં ઘણા મહત્વપૂર્ણ ઘટકોને ઉચ્ચ સ્થિરતા, ચોકસાઇ અને ઓછા થર્મલ વિસ્તરણની જરૂર હોય છે, તેથી ઇજનેરો આ મહત્વપૂર્ણ આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરવા માટે ગ્રેનાઈટ સામગ્રી તરફ વળ્યા છે.
પોસ્ટ સમય: માર્ચ-૧૯-૨૦૨૪