વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમના કયા ભાગોમાં ગ્રેનાઈટ સામગ્રીનો ઉપયોગ થાય છે?

ઉચ્ચ સ્થિરતા, નીચા થર્મલ વિસ્તરણ અને કાટ સામે ઉચ્ચ પ્રતિકાર જેવી તેમની ઉત્તમ લાક્ષણિકતાઓને કારણે સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં ગ્રેનાઈટ સામગ્રીનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે.આ ગુણધર્મો ગ્રેનાઈટને વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમમાં ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા ઘટકો બનાવવા માટે એક આદર્શ સામગ્રી બનાવે છે.

સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ પ્રક્રિયામાં, વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમ ઉત્પાદન પ્રક્રિયાના વિવિધ તબક્કામાં વેફરના પરિવહનમાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે.ચોકસાઇ અને ચોકસાઈ એ આ સિસ્ટમો માટે આવશ્યક આવશ્યકતાઓ છે કારણ કે સહેજ વિચલનો પણ સમગ્ર પ્રક્રિયાને જોખમમાં મૂકી શકે છે.તેથી, વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમના ઘટકો ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળી સામગ્રીમાંથી બનાવવામાં આવે છે, અને ગ્રેનાઈટ તે માપદંડોને પૂર્ણ કરે છે.

વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમના કેટલાક ભાગો કે જે ગ્રેનાઈટ સામગ્રીમાંથી બનાવવામાં આવે છે તેમાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે:

1. વેક્યુમ ચક ટેબલ

વેક્યૂમ ચક ટેબલનો ઉપયોગ પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફરને પકડી રાખવા માટે થાય છે, અને વેફરને નુકસાન ન થાય તેની ખાતરી કરવા માટે તેની સપાટી સ્થિર હોવી જોઈએ.આ ટેબલ બનાવવા માટે ગ્રેનાઈટ એક આદર્શ સામગ્રી છે કારણ કે તેમાં સપાટ, બિન-છિદ્રાળુ સપાટી છે જે ઉચ્ચ સ્થિરતા અને ચોકસાઇ પ્રદાન કરે છે.વધુમાં, ગ્રેનાઈટમાં થર્મલ વિસ્તરણનો ઓછો ગુણાંક હોય છે, જે તેને તાપમાનના ફેરફારો માટે પ્રતિરોધક બનાવે છે જે વેફરમાં પરિમાણીય ફેરફારોનું કારણ બની શકે છે.

2. એર-બેરિંગ સ્ટેજ

એર-બેરિંગ સ્ટેજનો ઉપયોગ વેફરને ઉત્પાદન પ્રક્રિયાના વિવિધ તબક્કામાં પરિવહન કરવા માટે થાય છે.સ્ટેજ ઘર્ષણ રહિત ચળવળ પ્રદાન કરવા માટે એન્જિનિયર્ડ છે, જેને ઉચ્ચ ચોકસાઇ અને સ્થિરતાની જરૂર છે.આ એપ્લિકેશનમાં ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ કરવામાં આવ્યો છે કારણ કે તે એક સખત અને સખત પથ્થર છે, અને તે સમય જતાં વિકૃતિ અને વસ્ત્રોનો પ્રતિકાર કરે છે.

3. લીનિયર મોશન માર્ગદર્શિકાઓ

રેખીય ગતિ માર્ગદર્શિકાઓનો ઉપયોગ એર-બેરિંગ સ્ટેજને માર્ગદર્શન આપવા માટે થાય છે, અને ભૂલોને ઘટાડવા માટે તેઓ ચોક્કસ રીતે સ્થિત હોવા જોઈએ.આ માર્ગદર્શિકા બનાવવા માટે ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે કારણ કે તેમાં ઉત્તમ યાંત્રિક સ્થિરતા અને શક્તિ છે.સામગ્રી કાટ-પ્રતિરોધક પણ છે, જે માર્ગદર્શિકા સિસ્ટમની દીર્ધાયુષ્યને સુનિશ્ચિત કરે છે.

4. મેટ્રોલોજી સાધનો

મેટ્રોલોજી સાધનોનો ઉપયોગ ઉત્પાદન પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફરના પરિમાણો અને ગુણધર્મોને માપવા માટે થાય છે.આ સાધનોના નિર્માણ માટે ગ્રેનાઈટ એક આદર્શ સામગ્રી છે કારણ કે તેમાં ઉચ્ચ જડતા, ઓછી વિસ્તરણ અને લોડ હેઠળ ન્યૂનતમ વિકૃતિ છે.વધુમાં, ગ્રેનાઈટની થર્મલ સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરે છે કે મેટ્રોલોજી સાધનો સમય જતાં સ્થિર અને સચોટ રહે છે.

નિષ્કર્ષમાં, સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ ચોકસાઇ અને ચોકસાઈ પર આધાર રાખે છે, અને ગ્રેનાઈટ સામગ્રી ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં અત્યંત વિશ્વસનીય અને સ્થિર સાબિત થઈ છે.વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમમાં ઉચ્ચ સ્થિરતા, ચોકસાઇ અને નીચા થર્મલ વિસ્તરણની આવશ્યકતા ધરાવતા ઘણા મહત્વપૂર્ણ ઘટકો સાથે, ઇજનેરો આ નિર્ણાયક જરૂરિયાતોને પહોંચી વળવા ગ્રેનાઇટ સામગ્રી તરફ વળ્યા છે.