વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમના કયા ભાગોમાં ગ્રેનાઇટ સામગ્રીનો ઉપયોગ થાય છે?

ઉચ્ચ સ્થિરતા, નીચા થર્મલ વિસ્તરણ અને કાટ સામે resistance ંચા પ્રતિકાર જેવી તેમની ઉત્તમ લાક્ષણિકતાઓને કારણે સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં ગ્રેનાઇટ સામગ્રીનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે. આ ગુણધર્મો ગ્રેનાઈટને વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમમાં ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા ઘટકો બનાવવા માટે એક આદર્શ સામગ્રી બનાવે છે.

સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ પ્રક્રિયામાં, વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમ મેન્યુફેક્ચરિંગ પ્રક્રિયાના વિવિધ તબક્કામાં વેફર્સને પરિવહન કરવામાં નિર્ણાયક ભૂમિકા ભજવે છે. ચોકસાઇ અને ચોકસાઈ એ આ સિસ્ટમો માટે આવશ્યક આવશ્યકતાઓ છે કારણ કે સહેજ વિચલનો પણ આખી પ્રક્રિયાને જોખમમાં મૂકે છે. તેથી, વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમના ઘટકો ઉચ્ચ ગુણવત્તાની સામગ્રીમાંથી બનાવવું આવશ્યક છે, અને ગ્રેનાઇટ તે માપદંડને પૂર્ણ કરે છે.

વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમના કેટલાક ભાગો કે જે ગ્રેનાઇટ સામગ્રીમાંથી બનાવવામાં આવે છે તેમાં શામેલ છે:

1. વેક્યુમ ચક ટેબલ

વેક્યૂમ ચક ટેબલનો ઉપયોગ પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફરને પકડવા માટે થાય છે, અને વેફરને નુકસાન ન થાય તેની ખાતરી કરવા માટે તેમાં સ્થિર સપાટી હોવી આવશ્યક છે. આ કોષ્ટક બનાવવા માટે ગ્રેનાઇટ એ એક આદર્શ સામગ્રી છે કારણ કે તેમાં સપાટ, બિન-છિદ્રાળુ સપાટી છે જે ઉચ્ચ સ્થિરતા અને ચોકસાઇ પ્રદાન કરે છે. વધુમાં, ગ્રેનાઇટમાં થર્મલ વિસ્તરણનું ઓછું ગુણાંક છે, જે તેને તાપમાનના ફેરફારો માટે પ્રતિરોધક બનાવે છે જે વેફરમાં પરિમાણીય ફેરફારોનું કારણ બની શકે છે.

2. હવા-બેરિંગ સ્ટેજ

એર-બેરિંગ સ્ટેજનો ઉપયોગ ઉત્પાદન પ્રક્રિયાના વિવિધ તબક્કાઓ દ્વારા વેફરને પરિવહન કરવા માટે થાય છે. સ્ટેજ ઘર્ષણ વિનાની ચળવળ પ્રદાન કરવા માટે એન્જિનિયર છે, જેને ઉચ્ચ ચોકસાઇ અને સ્થિરતાની જરૂર છે. આ એપ્લિકેશનમાં ગ્રેનાઇટનો ઉપયોગ થાય છે કારણ કે તે એક કઠોર અને સખત પથ્થર છે, અને તે વિરૂપતાનો પ્રતિકાર કરે છે અને સમય જતાં વસ્ત્રો પહેરે છે.

3. રેખીય ગતિ માર્ગદર્શિકાઓ

રેખીય ગતિ માર્ગદર્શિકાઓનો ઉપયોગ એર-બેરિંગ સ્ટેજને માર્ગદર્શન આપવા માટે થાય છે, અને ભૂલો ઘટાડવા માટે તેઓ ચોક્કસ સ્થિત હોવા જોઈએ. ગ્રેનાઇટનો ઉપયોગ આ માર્ગદર્શિકા બનાવવા માટે થાય છે કારણ કે તેમાં ઉત્તમ યાંત્રિક સ્થિરતા અને શક્તિ છે. સામગ્રી પણ કાટ-પ્રતિરોધક છે, જે માર્ગદર્શિકા સિસ્ટમની આયુષ્યની ખાતરી આપે છે.

4. મેટ્રોલોજી સાધનો

મેટ્રોલોજી સાધનોનો ઉપયોગ ઉત્પાદન પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફરના પરિમાણો અને ગુણધર્મોને માપવા માટે થાય છે. આ ઉપકરણો બનાવવા માટે ગ્રેનાઇટ એ એક આદર્શ સામગ્રી છે કારણ કે તેમાં ઉચ્ચ જડતા, નીચા વિસ્તરણ અને લોડ હેઠળ ન્યૂનતમ વિરૂપતા છે. તદુપરાંત, ગ્રેનાઇટની થર્મલ સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરે છે કે મેટ્રોલોજી સાધનો સમય જતાં સ્થિર અને સચોટ રહે છે.

નિષ્કર્ષમાં, સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ ચોકસાઇ અને ચોકસાઈ પર આધાર રાખે છે, અને ગ્રેનાઇટ સામગ્રી ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં ખૂબ વિશ્વસનીય અને સ્થિર સાબિત થઈ છે. વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમના ઘણા જટિલ ઘટકો સાથે ઉચ્ચ સ્થિરતા, ચોકસાઇ અને નીચા થર્મલ વિસ્તરણની જરૂર હોય છે, ઇજનેરો આ નિર્ણાયક આવશ્યકતાઓને પહોંચી વળવા માટે ગ્રેનાઇટ સામગ્રી તરફ વળ્યા છે.