સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં, સામાન્ય રીતે ગ્રેનાઇટ પથારી કયા કી ઘટકો માટે વપરાય છે?

ઉચ્ચ પરિમાણીય સ્થિરતા, ઉચ્ચ જડતા, નીચા થર્મલ વિસ્તરણ, સારા ભીનાશ ગુણધર્મો અને વસ્ત્રો અને ઘર્ષણ માટે ઉચ્ચ પ્રતિકાર જેવા તેમના ઉત્તમ ગુણધર્મોને કારણે સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના ઉત્પાદનમાં ગ્રેનાઇટ પથારી ખૂબ પસંદ કરવામાં આવે છે. તેઓ સેમિકન્ડક્ટર ઇક્વિપમેન્ટ મેન્યુફેક્ચરિંગ ઉદ્યોગના ઘણા નિર્ણાયક ઘટકોમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે, જેમ કે વેફર ઇન્સ્પેક્શન સિસ્ટમ્સ, વેફર માપન સિસ્ટમ્સ, વેફર હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ્સ અને વધુ.

વેફર નિરીક્ષણ પદ્ધતિ
સેમિકન્ડક્ટર વેફરના નિરીક્ષણ માટે સ્થિર અને સપાટ સપાટી પ્રદાન કરવા માટે વેફર નિરીક્ષણ પ્રણાલીઓ ગ્રેનાઇટ પથારીનો ઉપયોગ કરે છે. ગ્રેનાઇટ પથારીનો ઉપયોગ સ્ટેજ પ્લેટફોર્મ તરીકે થાય છે જે વેફરને નિરીક્ષણ હેઠળ રાખે છે. ગ્રેનાઈટ બેડની ચપળતા અને કઠોરતા સચોટ નિરીક્ષણની ખાતરી આપે છે જ્યારે વેફરને નુકસાન અથવા દૂષણ ઘટાડે છે. ગ્રેનાઇટ પથારી પર્યાવરણીય સ્પંદનો અને અન્ય બાહ્ય પરિબળોની અસરોને ઘટાડવામાં પણ મદદ કરે છે.

માપ -માપ પદ્ધતિ
વેફર માપન સિસ્ટમોમાં, ચોકસાઇ મહત્વપૂર્ણ છે. ગ્રેનાઇટ પથારીનો ઉપયોગ તેમની ઉત્તમ પરિમાણીય સ્થિરતાને કારણે આ હેતુ માટે વ્યાપકપણે થાય છે. તેઓ વેફરની જાડાઈ, આકાર અને સપાટીની સુવિધાઓના ચોક્કસ માપન માટે સખત આધાર પ્રદાન કરે છે. ગ્રેનાઇટ પથારી પહેરવા અને ઘર્ષણ માટે પણ પ્રતિરોધક છે, જે તેમને વિસ્તૃત અવધિમાં સતત ઉપયોગ માટે આદર્શ બનાવે છે.

વક્તા સંભાળવાની પદ્ધતિ
ગ્રેનાઇટ પથારીનો ઉપયોગ વેફર હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ્સમાં પણ થાય છે. આ સિસ્ટમોમાં, ગ્રેનાઇટ પથારીનો ઉપયોગ હેન્ડલિંગ પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફરની સ્થિતિ માટે ચોક્કસ માર્ગદર્શિકા તરીકે થાય છે. ગ્રેનાઈટ પલંગની ઉચ્ચ જડતા અને ચપળતાથી વેફરની સચોટ અને પુનરાવર્તિત સ્થિતિની ખાતરી થાય છે, નુકસાનનું જોખમ ઘટાડે છે.

અન્ય ઘટકો
ઉપરોક્ત ઘટકો સિવાય, ગ્રેનાઇટ પથારીનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના ઉત્પાદનના અન્ય નિર્ણાયક ભાગોમાં પણ થાય છે જેમ કે સ્ટેજ બેઝ, સપોર્ટ સ્ટ્રક્ચર્સ અને અન્ય ઉચ્ચ ચોકસાઇ ભાગો. ગ્રેનાઇટ પથારીની ઉચ્ચ પરિમાણીય સ્થિરતા ભાગ વિકૃતિ, થર્મલ ફેરફારો અને કંપન દ્વારા થતી ભૂલોને ઘટાડવામાં મદદ કરે છે.

અંત
નિષ્કર્ષમાં, સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના ઉત્પાદનમાં ગ્રેનાઇટ પથારી એક નિર્ણાયક ઘટક છે કારણ કે તેઓ ઉચ્ચ પરિમાણીય સ્થિરતા, નીચા થર્મલ વિસ્તરણ અને વસ્ત્રો અને ઘર્ષણ માટે ઉત્તમ પ્રતિકાર આપે છે. તેઓ વેફર ઇન્સ્પેક્શન સિસ્ટમ્સ, વેફર માપન સિસ્ટમ્સ, વેફર હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ્સ અને અન્ય ઉચ્ચ-ચોકસાઇ ઉપકરણોમાં સચોટ, પુનરાવર્તિત અને વિશ્વસનીય કામગીરી માટે આવશ્યક છે. ગ્રેનાઇટ પથારીનો ઉપયોગ સુનિશ્ચિત કરે છે કે સેમિકન્ડક્ટર સાધનો ઉત્પાદકો ઉચ્ચ ગુણવત્તાવાળા ઉત્પાદનોનું ઉત્પાદન કરી શકે છે જે આધુનિક સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ દ્વારા માંગવામાં આવેલા સખત ધોરણોને પૂર્ણ કરે છે.