સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં, ગ્રેનાઈટ બેડ સામાન્ય રીતે કયા મુખ્ય ઘટકો માટે વપરાય છે?

ઉચ્ચ પરિમાણીય સ્થિરતા, ઉચ્ચ જડતા, નીચું થર્મલ વિસ્તરણ, સારી ભીનાશ ગુણધર્મો અને વસ્ત્રો અને ઘર્ષણ માટે ઉચ્ચ પ્રતિકાર જેવા ઉત્તમ ગુણધર્મોને કારણે સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના ઉત્પાદનમાં ગ્રેનાઈટ પથારીને ખૂબ પસંદ કરવામાં આવે છે.તેઓ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના ઉત્પાદન ઉદ્યોગમાં ઘણા નિર્ણાયક ઘટકોમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે, જેમ કે વેફર ઇન્સ્પેક્શન સિસ્ટમ્સ, વેફર મેઝરમેન્ટ સિસ્ટમ્સ, વેફર હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ્સ અને વધુ.

વેફર ઇન્સ્પેક્શન સિસ્ટમ્સ
સેમિકન્ડક્ટર વેફરના નિરીક્ષણ માટે સ્થિર અને સપાટ સપાટી પૂરી પાડવા માટે વેફર ઇન્સ્પેક્શન સિસ્ટમ્સ ગ્રેનાઈટ પથારીનો ઉપયોગ કરે છે.ગ્રેનાઈટ પથારીનો ઉપયોગ સ્ટેજ પ્લેટફોર્મ તરીકે થાય છે જે વેફરને નિરીક્ષણ હેઠળ રાખે છે.ગ્રેનાઈટ બેડની સપાટતા અને કઠોરતા વેફરને નુકસાન અથવા દૂષણને ઓછું કરતી વખતે સચોટ નિરીક્ષણની ખાતરી આપે છે.ગ્રેનાઈટ પથારી પર્યાવરણીય સ્પંદનો અને અન્ય બાહ્ય પરિબળોની અસરોને ઘટાડવામાં પણ મદદ કરે છે.

વેફર મેઝરમેન્ટ સિસ્ટમ્સ
વેફર માપન પ્રણાલીઓમાં, ચોકસાઇ મહત્વપૂર્ણ છે.ગ્રેનાઈટ પથારી તેમની ઉત્તમ પરિમાણીય સ્થિરતાને કારણે આ હેતુ માટે વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે.તેઓ વેફરની જાડાઈ, આકાર અને સપાટીના લક્ષણોના ચોક્કસ માપન માટે સખત આધાર પૂરો પાડે છે.ગ્રેનાઈટ પથારી પહેરવા અને ઘર્ષણ માટે પણ પ્રતિરોધક છે, જે તેમને લાંબા સમય સુધી સતત ઉપયોગ માટે આદર્શ બનાવે છે.

વેફર હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ્સ
ગ્રેનાઈટ પથારીનો ઉપયોગ વેફર હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ્સમાં પણ થાય છે.આ સિસ્ટમોમાં, ગ્રેનાઈટ પથારીનો ઉપયોગ હેન્ડલિંગ પ્રક્રિયા દરમિયાન વેફરની સ્થિતિ માટે ચોક્કસ માર્ગદર્શિકા તરીકે થાય છે.ગ્રેનાઈટ બેડની ઉચ્ચ જડતા અને સપાટતા વેફરની ચોક્કસ અને પુનરાવર્તિત સ્થિતિને સુનિશ્ચિત કરે છે, નુકસાનનું જોખમ ઘટાડે છે.

અન્ય ઘટકો
ઉપરોક્ત ઘટકો ઉપરાંત, ગ્રેનાઈટ પથારીનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના ઉત્પાદનના અન્ય મહત્વપૂર્ણ ભાગોમાં પણ થાય છે જેમ કે સ્ટેજ બેઝ, સપોર્ટ સ્ટ્રક્ચર્સ અને અન્ય ઉચ્ચ ચોકસાઇવાળા ભાગો.ગ્રેનાઈટ પથારીની ઉચ્ચ પરિમાણીય સ્થિરતા ભાગ વિકૃતિ, થર્મલ ફેરફારો અને કંપનને કારણે થતી ભૂલોને ઘટાડવામાં મદદ કરે છે.

નિષ્કર્ષ
નિષ્કર્ષમાં, ગ્રેનાઈટ પથારી સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના ઉત્પાદનમાં એક મહત્વપૂર્ણ ઘટક છે કારણ કે તે ઉચ્ચ પરિમાણીય સ્થિરતા, નીચા થર્મલ વિસ્તરણ અને વસ્ત્રો અને ઘર્ષણ માટે ઉત્તમ પ્રતિકાર પ્રદાન કરે છે.વેફર ઇન્સ્પેક્શન સિસ્ટમ્સ, વેફર મેઝરમેન્ટ સિસ્ટમ્સ, વેફર હેન્ડલિંગ સિસ્ટમ્સ અને અન્ય ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા સાધનોમાં ચોક્કસ, પુનરાવર્તિત અને વિશ્વસનીય કામગીરી માટે તે આવશ્યક છે.ગ્રેનાઈટ બેડનો ઉપયોગ સુનિશ્ચિત કરે છે કે સેમિકન્ડક્ટર સાધનોના ઉત્પાદકો ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા ઉત્પાદનોનું ઉત્પાદન કરી શકે છે જે આધુનિક સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ દ્વારા માંગવામાં આવતા સખત ધોરણોને પૂર્ણ કરે છે.