ગ્રેનાઈટ એ સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોમાં વપરાતી સૌથી લોકપ્રિય સામગ્રીઓમાંની એક છે. તે એક પ્રકારનો કઠણ, અગ્નિકૃત ખડક છે જે ગ્રે, ગુલાબી અને સફેદ રંગના વિવિધ રંગોમાં આવે છે. ગ્રેનાઈટ તેના ટકાઉપણું, ઓછા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક અને ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા માટે જાણીતું છે, જે તેને સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણ સબસિસ્ટમ્સમાં ઉપયોગ માટે એક આદર્શ સામગ્રી બનાવે છે.
સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોમાં ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ કરતી પ્રાથમિક સબસિસ્ટમમાંની એક વેફર હેન્ડલિંગ અને પ્રોસેસિંગ સબસિસ્ટમ છે. આ સબસિસ્ટમ સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોની ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે. વેફર એ ઉપકરણ માટે પ્રારંભિક સબસ્ટ્રેટ છે, અને હેન્ડલિંગ અને પ્રોસેસિંગ સબસિસ્ટમ વિવિધ ચેમ્બર અને પ્રોસેસિંગ સાધનો વચ્ચે વેફર ટ્રાન્સફર કરવા માટે જવાબદાર છે. ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ અત્યંત ચોક્કસ અને સપાટ વેફર હેન્ડલિંગ સપાટીઓ બનાવવા માટે થાય છે અને વેફર પ્રોસેસિંગ માટે એક સ્થિર પ્લેટફોર્મ પૂરું પાડે છે.
ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ કરતી બીજી મહત્વપૂર્ણ સબસિસ્ટમ વેક્યુમ સબસિસ્ટમ છે. સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોમાં, વેક્યુમ ચેમ્બરનો ઉપયોગ ઉત્પાદન દરમિયાન દૂષણ ટાળવા માટે કરવામાં આવે છે. આ સિસ્ટમ અસરકારક રીતે કાર્ય કરવા માટે, ચેમ્બર સંપૂર્ણપણે સીલ થયેલ હોવું જોઈએ, જ્યાં ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ થાય છે. ગ્રેનાઈટ વેક્યુમ ચેમ્બર માટે એક આદર્શ સામગ્રી છે કારણ કે તેમાં ગેસિંગનો દર ખૂબ જ ઓછો છે અને તે સ્થિર વેક્યુમ વાતાવરણ જાળવી શકે છે. વધુમાં, ગ્રેનાઈટની ઉચ્ચ મશીનિંગ ચોકસાઇ એક સંપૂર્ણ સીલ બનાવવાની મંજૂરી આપે છે, જે વેફર પ્રોસેસિંગ માટે વિશ્વસનીય વેક્યુમ વાતાવરણ પૂરું પાડે છે.
સંરેખણ સબસિસ્ટમ એ બીજી મહત્વપૂર્ણ સિસ્ટમ છે જે ગ્રેનાઈટના અનન્ય ગુણધર્મોનો ઉપયોગ કરે છે. આ સબસિસ્ટમ સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોના વિવિધ ભાગોને ચોકસાઈ અને ચોકસાઈ સાથે સંરેખિત કરવા માટે જવાબદાર છે. ઉચ્ચ કઠોરતા અને સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ સંરેખણ તબક્કાઓની ડિઝાઇન અને બાંધકામમાં થાય છે. ગ્રેનાઈટની ઉચ્ચ કઠોરતા ઉચ્ચ સંરેખણ ચોકસાઈ પ્રાપ્ત કરવામાં મદદ કરે છે, જે અત્યંત ચોક્કસ અને વિશ્વસનીય સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોના ઉત્પાદન તરફ દોરી જાય છે.
છેલ્લે, મેટ્રોલોજી સબસિસ્ટમ એ સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોની બીજી સિસ્ટમ છે જે ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ કરે છે. વેફર પ્રોસેસિંગમાં મેટ્રોલોજી મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે, અને ઉપકરણની ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરવામાં આ સબસિસ્ટમની ચોકસાઈ મહત્વપૂર્ણ છે. ગ્રેનાઈટ એક સ્થિર અને સખત પ્લેટફોર્મ પૂરું પાડે છે જે કંપનો ઘટાડવામાં અને તાપમાનના વધઘટની અસરને ઘટાડવામાં મદદ કરે છે. આ બદલામાં, મેટ્રોલોજી સબસિસ્ટમમાં ખૂબ સચોટ માપન પ્રાપ્ત કરવામાં મદદ કરે છે, જે ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોના ઉત્પાદન તરફ દોરી જાય છે.
નિષ્કર્ષમાં, ગ્રેનાઈટ સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોના ઉત્પાદનમાં એક મહત્વપૂર્ણ સામગ્રી છે. ઉચ્ચ કઠોરતા, ઓછી થર્મલ વિસ્તરણ અને ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા જેવા તેના અનન્ય ગુણધર્મો તેને સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોમાં અનેક સબસિસ્ટમ્સ માટે ઉત્તમ સામગ્રી બનાવે છે, જેમાં વેફર હેન્ડલિંગ અને પ્રોસેસિંગ, વેક્યુમ સબસિસ્ટમ, એલાઈનમેન્ટ સબસિસ્ટમ અને મેટ્રોલોજી સબસિસ્ટમનો સમાવેશ થાય છે. વધુમાં, સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોમાં ગ્રેનાઈટના ઉપયોગથી અત્યંત ચોક્કસ, વિશ્વસનીય અને કાર્યક્ષમ ઉપકરણોના ઉત્પાદનમાં મદદ મળી છે જેણે અસંખ્ય ઉદ્યોગોને પરિવર્તિત કર્યા છે.
પોસ્ટ સમય: માર્ચ-૧૯-૨૦૨૪