ગ્રેનાઈટ ચોકસાઇ પ્લેટફોર્મની ચોકસાઈ કેવી રીતે તપાસવી? ખાતરી કરો કે ચોકસાઈ પ્રમાણભૂત છે કે નહીં?

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન અને ચોકસાઇ માપન સાધનો જેવા ક્ષેત્રોમાં, ગ્રેનાઈટ ચોકસાઇ પ્લેટફોર્મની ચોકસાઈ સીધી રીતે સાધનોની કાર્યકારી ગુણવત્તા નક્કી કરે છે. પ્લેટફોર્મની ચોકસાઈ ધોરણોને પૂર્ણ કરે છે તેની ખાતરી કરવા માટે, બે પાસાઓથી પ્રયાસો કરવા જોઈએ: મુખ્ય સૂચકાંકોની શોધ અને માનક ધોરણોનું પાલન.

મુખ્ય સૂચક શોધ: ચોકસાઈનું બહુ-પરિમાણીય નિયંત્રણ
સપાટતા શોધ: સંદર્ભ સમતલની "સપાટતા" નક્કી કરવી
ગ્રેનાઈટ ચોકસાઈ પ્લેટફોર્મનું મુખ્ય સૂચક સપાટતા છે, અને તે સામાન્ય રીતે લેસર ઇન્ટરફેરોમીટર અથવા ઇલેક્ટ્રોનિક સ્તરો દ્વારા માપવામાં આવે છે. લેસર ઇન્ટરફેરોમીટર લેસર બીમ ઉત્સર્જિત કરીને અને પ્રકાશ હસ્તક્ષેપના સિદ્ધાંતનો ઉપયોગ કરીને પ્લેટફોર્મ સપાટી પરના નાના અનડ્યુલેશન્સને ચોક્કસ રીતે માપી શકે છે, જેની ચોકસાઈ સબ-માઇક્રોન સ્તર સુધી પહોંચે છે. ઇલેક્ટ્રોનિક સ્તર ઘણી વખત ખસેડીને માપે છે અને પ્લેટફોર્મ સપાટીનો ત્રિ-પરિમાણીય સમોચ્ચ નકશો દોરે છે જેથી કોઈ સ્થાનિક પ્રોટ્રુઝન અથવા ડિપ્રેશન છે કે કેમ તે શોધી શકાય. ઉદાહરણ તરીકે, સેમિકન્ડક્ટર ફોટોલિથોગ્રાફી મશીનોમાં વપરાતા ગ્રેનાઈટ પ્લેટફોર્મની સપાટતા ±0.5μm/m હોવી જરૂરી છે, જેનો અર્થ છે કે 1-મીટર લંબાઈમાં ઊંચાઈનો તફાવત અડધા માઇક્રોમીટરથી વધુ ન હોવો જોઈએ. ફક્ત ઉચ્ચ-ચોકસાઇ શોધ સાધનો દ્વારા જ આ કડક ધોરણ સુનિશ્ચિત કરી શકાય છે.
2. સીધીતા શોધ: રેખીય ગતિની "સીધીતા" સુનિશ્ચિત કરો
ચોકસાઇથી ગતિશીલ ભાગો ધરાવતા પ્લેટફોર્મ માટે, સીધીતા ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે. વાયર પદ્ધતિ અથવા લેસર કોલિમેટર શોધવા માટેની સામાન્ય પદ્ધતિઓ છે. વાયર પદ્ધતિમાં ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા સ્ટીલ વાયરને સસ્પેન્ડ કરવાનો અને પ્લેટફોર્મ સપાટી અને સ્ટીલ વાયર વચ્ચેના અંતરની તુલના કરીને સીધીતા નક્કી કરવાનો સમાવેશ થાય છે. લેસર કોલિમેટર પ્લેટફોર્મ માર્ગદર્શિકા રેલની ઇન્સ્ટોલેશન સપાટીની રેખીય ભૂલ શોધવા માટે લેસરની રેખીય પ્રચાર લાક્ષણિકતાઓનો ઉપયોગ કરે છે. જો સીધીતા ધોરણને પૂર્ણ કરતી નથી, તો તે ગતિ દરમિયાન સાધનોને ખસેડશે, જે પ્રક્રિયા અથવા માપનની ચોકસાઈને અસર કરશે.
3. સપાટીની ખરબચડી શોધ: સંપર્કની "સુક્ષ્મતા" સુનિશ્ચિત કરો
પ્લેટફોર્મની સપાટીની ખરબચડીતા ઘટક સ્થાપનના ફિટને અસર કરે છે. સામાન્ય રીતે, શોધ માટે સ્ટાઇલસ રફનેસ મીટર અથવા ઓપ્ટિકલ માઇક્રોસ્કોપનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે. સ્ટાઇલસ પ્રકારનું સાધન પ્લેટફોર્મ સપાટીને બારીક પ્રોબથી સંપર્ક કરીને માઇક્રોસ્કોપિક પ્રોફાઇલની ઊંચાઈમાં ફેરફાર રેકોર્ડ કરે છે. ઓપ્ટિકલ માઇક્રોસ્કોપ સપાટીની રચનાનું સીધું અવલોકન કરી શકે છે. ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા કાર્યક્રમોમાં, ગ્રેનાઈટ પ્લેટફોર્મની સપાટીની ખરબચડીતાને Ra≤0.05μm પર નિયંત્રિત કરવાની જરૂર છે, જે અરીસા જેવી અસરની સમકક્ષ છે, જે ખાતરી કરે છે કે ઇન્સ્ટોલેશન દરમિયાન ચોકસાઇ ઘટકો ચુસ્તપણે ફિટ થાય છે અને ગાબડાને કારણે થતા કંપન અથવા વિસ્થાપનને ટાળે છે.
ચોકસાઇ ધોરણો નીચે મુજબ છે: આંતરરાષ્ટ્રીય ધોરણો અને એન્ટરપ્રાઇઝનું આંતરિક નિયંત્રણ
હાલમાં, આંતરરાષ્ટ્રીય સ્તરે, ગ્રેનાઈટ પ્લેટફોર્મની ચોકસાઈ નક્કી કરવા માટે ISO 25178 અને GB/T 24632 ધોરણોનો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે થાય છે, અને સપાટતા અને સીધીતા જેવા સૂચકાંકો માટે સ્પષ્ટ વર્ગીકરણ છે. વધુમાં, ઉચ્ચ-સ્તરીય ઉત્પાદન સાહસો ઘણીવાર વધુ કડક આંતરિક નિયંત્રણ ધોરણો નક્કી કરે છે. ઉદાહરણ તરીકે, ફોટોલિથોગ્રાફી મશીનના ગ્રેનાઈટ પ્લેટફોર્મ માટે સપાટતાની જરૂરિયાત આંતરરાષ્ટ્રીય ધોરણ કરતા 30% વધારે છે. પરીક્ષણો કરતી વખતે, માપેલા ડેટાની તુલના અનુરૂપ ધોરણો સાથે કરવી જોઈએ. ફક્ત એવા પ્લેટફોર્મ જે ધોરણોનું સંપૂર્ણ પાલન કરે છે તે ચોકસાઇ સાધનોમાં સ્થિર કામગીરી સુનિશ્ચિત કરી શકે છે.
ગ્રેનાઈટ ચોકસાઇ પ્લેટફોર્મની ચોકસાઈનું નિરીક્ષણ કરવું એ એક વ્યવસ્થિત પ્રોજેક્ટ છે. ફક્ત સપાટતા, સીધીતા અને સપાટીની ખરબચડી જેવા મુખ્ય સૂચકાંકોનું કડક પરીક્ષણ કરીને અને આંતરરાષ્ટ્રીય અને એન્ટરપ્રાઇઝ ધોરણોનું પાલન કરીને, પ્લેટફોર્મની ઉચ્ચ ચોકસાઇ અને વિશ્વસનીયતાની ખાતરી આપી શકાય છે, જે સેમિકન્ડક્ટર અને ચોકસાઇ સાધનો જેવા ઉચ્ચ-અંતિમ ઉત્પાદન ક્ષેત્રો માટે મજબૂત પાયો નાખે છે.