ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા ગ્રેનાઈટ મશીન બેઝ વેફર નિરીક્ષણ સાધનોની ચોકસાઈ કેવી રીતે સુધારે છે.

Iસેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન ઉદ્યોગમાં, ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટની ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરવા માટે વેફર નિરીક્ષણ સાધનોની ચોકસાઈ મહત્વપૂર્ણ છે. ZHHIMG® દ્વારા પૂરા પાડવામાં આવેલા ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા ગ્રેનાઈટ મશીન બેઝ, આવા સાધનોના પ્રદર્શનને વધારવામાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે. તેઓ કેવી રીતે ફરક પાડે છે તે અહીં છે.
અપવાદરૂપ પરિમાણીય સ્થિરતા ગ્રેનાઈટમાં અત્યંત નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક, (4–8)×10⁻⁶/℃ ની આસપાસ, ઘણી ધાતુઓ કરતાં નોંધપાત્ર રીતે ઓછો છે. સેમિકન્ડક્ટર ફેક્ટરીઓના ચુસ્તપણે નિયંત્રિત વાતાવરણમાં, જ્યાં તાપમાનમાં નાના વધઘટ પણ માપન ભૂલોનું કારણ બની શકે છે, ગ્રેનાઈટ મશીન બેઝ સ્થિર રહે છે. આ સ્થિરતા ખાતરી કરે છે કે વેફર નિરીક્ષણ સાધનોમાં ઘટકોની સ્થિતિ સચોટ રહે છે, જે નિરીક્ષણ પરિણામોની ચોકસાઈને અસર કરી શકે તેવા કોઈપણ થર્મલ-પ્રેરિત વિચલનોને અટકાવે છે.

સુપિરિયર વાઇબ્રેશન ડેમ્પિંગઉત્પાદન ફ્લોર ઘણીવાર વિવિધ સ્ત્રોતોમાંથી આવતા સ્પંદનોથી ભરેલા હોય છે. ગ્રેનાઈટના સહજ ડેમ્પિંગ ગુણધર્મો, 0.05–0.1 ના ડેમ્પિંગ રેશિયો સાથે, આ સ્પંદનોને અસરકારક રીતે શોષી લે છે અને વિખેરી નાખે છે. વેફર ઇન્સ્પેક્શન માટે
ઉચ્ચ-રિઝોલ્યુશન ઇમેજિંગ અને ચોક્કસ સેન્સર રીડિંગ્સની માંગ કરતી આ પ્રક્રિયામાં, ગ્રેનાઈટ બેઝ દ્વારા પૂરા પાડવામાં આવતા સ્પંદનોમાં ઘટાડો અમૂલ્ય છે. તે છબીઓને અસ્પષ્ટ કરી શકે તેવા અથવા સેન્સર ડેટાને વિકૃત કરી શકે તેવા દખલગીરીને ઘટાડે છે, જેનાથી સાધનો વેફરની સપાટી અને આંતરિક રચના વિશે સ્પષ્ટ અને સચોટ માહિતી મેળવી શકે છે.
ઉચ્ચ કઠોરતા અને ઘસારો પ્રતિકારઆશરે 3100 kg/m³ ની ઘનતા સાથે, ZHHIMG® ના ગ્રેનાઈટ મશીન બેઝ નોંધપાત્ર કઠોરતા પ્રદાન કરે છે. તેઓ વેફર નિરીક્ષણ સાધનોના ભારે ઘટકોને વિકૃત થયા વિના ટેકો આપી શકે છે, ઓપ્ટિકલ અને યાંત્રિક સિસ્ટમોના સંરેખણને જાળવી રાખે છે. વધુમાં, ગ્રેનાઈટની ઉચ્ચ કઠિનતા (મોહ્સ સ્કેલ 6-7) અને ઉત્તમ ઘસારો પ્રતિકાર ખાતરી કરે છે કે મશીન બેઝની સપાટી સમય જતાં સપાટ અને સરળ રહે છે. લાંબા ગાળાની ચોકસાઈ માટે આ સુસંગતતા આવશ્યક છે, કારણ કે બેઝ પર કોઈપણ ઘસારો અથવા વિકૃતિ ધીમે ધીમે સાધનોની ચોકસાઈને ઘટાડી શકે છે.
રાસાયણિક જડતાસેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં વિવિધ રસાયણોના સંપર્કનો સમાવેશ થાય છે. ગ્રેનાઈટની રાસાયણિક જડતા તેને આ પદાર્થોના કાટ સામે પ્રતિરોધક બનાવે છે. આ ગુણધર્મ મશીન બેઝની અખંડિતતાનું રક્ષણ કરે છે, રાસાયણિક-પ્રેરિત નુકસાનને અટકાવે છે જે નિરીક્ષણ સાધનોની સ્થિરતા અને ચોકસાઈને અસર કરી શકે છે.
નિષ્કર્ષમાં, ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા ગ્રેનાઈટ મશીન બેઝ ફક્ત એક ઘટક નથી પરંતુ વેફર નિરીક્ષણ સાધનોની ચોક્કસ ચોકસાઈ આવશ્યકતાઓને પ્રાપ્ત કરવા માટે એક મુખ્ય સક્ષમકર્તા છે. ગ્રેનાઈટ મશીન બેઝ પસંદ કરતી વખતે, ZHHIMG® જેવા વિશ્વસનીય પ્રદાતાઓ પસંદ કરો. બહુવિધ પ્રમાણપત્રો અને ગુણવત્તા પ્રત્યે પ્રતિબદ્ધતા સાથે, ZHHIMG® ખાતરી કરે છે કે દરેક ગ્રેનાઈટ મશીન બેઝ અદ્યતન સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન માટે જરૂરી વિશ્વસનીયતા અને પ્રદર્શન પ્રદાન કરે છે.