સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનની ચોક્કસ દુનિયામાં, વેફરનું બિન-વિનાશક પરીક્ષણ એ ચિપ્સની ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરવા માટે એક મુખ્ય કડી છે. દેખીતી રીતે નજીવું લાગતું ગ્રેનાઈટ બેઝ વાસ્તવમાં "અનસંગ હીરો" છે જે શોધ ચોકસાઈ નક્કી કરે છે. પૃથ્વી પર તે પરીક્ષણ પરિણામોને કેવી રીતે અસર કરે છે? આ લેખ સામગ્રી ગુણધર્મો અને માળખાકીય ડિઝાઇન જેવા પરિમાણોનું ઊંડાણપૂર્વક વિશ્લેષણ કરશે.
1. સ્થિર પાયો: ગ્રેનાઈટના કુદરતી ફાયદા ચોકસાઈ માટે મજબૂત પાયો નાખે છે
૧. ઉત્તમ ભૂકંપીય કામગીરી
વેફર બિન-વિનાશક પરીક્ષણ સાધનોના સંચાલન દરમિયાન, મોટરનું પરિભ્રમણ અને યાંત્રિક ઘટકોની ગતિવિધિ બધા કંપન ઉત્પન્ન કરશે. જો આ કંપનોને અસરકારક રીતે દબાવવામાં નહીં આવે, તો તે પરીક્ષણ ચોકસાઈમાં ગંભીર દખલ કરશે. ગ્રેનાઈટનો આંતરિક ભાગ ક્વાર્ટઝ અને ફેલ્ડસ્પાર જેવા ખનિજ સ્ફટિકો સાથે ગાઢ રીતે વણાયેલો છે. તેની અનન્ય રચના તેને કુદરતી કંપન શોષણ ક્ષમતાથી સંપન્ન કરે છે, જે સાધનોની 90% થી વધુ કંપન ઊર્જાને શોષી લેવામાં સક્ષમ છે. ચોક્કસ સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદકનો વાસ્તવિક માપન ડેટા દર્શાવે છે કે ગ્રેનાઈટ બેઝનો ઉપયોગ કર્યા પછી, શોધ સાધનોનું કંપન કંપનવિસ્તાર 12μm થી ઘટાડીને 2μm કરવામાં આવ્યું છે, જે કંપનને કારણે થતા શોધ સિગ્નલના વિચલનને અસરકારક રીતે ટાળે છે.
2. થર્મલ વિસ્તરણનો અત્યંત ઓછો ગુણાંક
શોધ પ્રક્રિયા દરમિયાન, સાધનો ગરમ કરવા અને પર્યાવરણીય તાપમાનમાં ફેરફાર જેવા પરિબળો મશીન બેઝની સ્થિરતાને અસર કરશે. સામાન્ય સામગ્રી ગરમ થાય ત્યારે નોંધપાત્ર રીતે વિસ્તરે છે, પરંતુ ગ્રેનાઈટના થર્મલ વિસ્તરણનો ગુણાંક સ્ટીલના માત્ર 1/5 ભાગનો હોય છે. જો આસપાસના તાપમાનમાં 10℃ ની વધઘટ થાય તો પણ, તેના વિરૂપતાને અવગણી શકાય છે. આ ગ્રેનાઈટ બેઝને નિરીક્ષણ સાધનો માટે સ્થિર સંદર્ભ પ્લેટફોર્મ પૂરું પાડવા સક્ષમ બનાવે છે, ખાતરી કરે છે કે નિરીક્ષણ પ્રોબ અને વેફર વચ્ચેની સંબંધિત સ્થિતિ હંમેશા સચોટ રહે છે અને થર્મલ વિકૃતિને કારણે થતી નિરીક્ષણ ભૂલોને ટાળે છે.
બીજું, ચોક્કસ ડિઝાઇન: માળખાકીય ઑપ્ટિમાઇઝેશન શોધની વિશ્વસનીયતાને વધુ વધારે છે.
ઉચ્ચ-ચોકસાઇ પ્રક્રિયા અને સપાટતાની ગેરંટી
ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા ગ્રેનાઈટ બેઝને અદ્યતન પાંચ-અક્ષીય લિંકેજ CNC ટેકનોલોજી દ્વારા પ્રક્રિયા કરવામાં આવે છે, જેની સપાટતા ±0.5μm/m છે, જે નિરીક્ષણ સાધનો માટે અલ્ટ્રા-ફ્લેટ ઇન્સ્ટોલેશન સંદર્ભ પ્રદાન કરે છે. વેફર નિરીક્ષણમાં, નિરીક્ષણ ચકાસણીની ઊભીતા અને સ્તરીકરણ નિરીક્ષણ પરિણામો માટે મહત્વપૂર્ણ છે. ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા ગ્રેનાઈટ બેઝ ચકાસણીની ચોક્કસ સ્થિતિ સુનિશ્ચિત કરી શકે છે, જે નિરીક્ષણ ડેટાને વધુ સચોટ અને વિશ્વસનીય બનાવે છે.
2. કસ્ટમાઇઝ્ડ માળખાકીય અનુકૂલન
ગ્રેનાઈટ મશીન બેઝને વિવિધ વેફર બિન-વિનાશક પરીક્ષણ સાધનો અને પ્રક્રિયા જરૂરિયાતો માટે કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે. ઉદાહરણ તરીકે, પ્રકાશ પ્રતિબિંબ માટે ઓપ્ટિકલ નિરીક્ષણ સાધનોની જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરવા માટે, મશીન બેઝની સપાટીને ખાસ સારવાર આપી શકાય છે; અલ્ટ્રાસોનિક પરીક્ષણ સાધનોની ઇન્સ્ટોલેશન આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરવા માટે, બેઝને ચોક્કસ ઇન્સ્ટોલેશન છિદ્રો અને કેબલ ટ્રે સાથે પ્રિફેબ્રિકેટ કરી શકાય છે, જે સાધનોના ઝડપી અને સચોટ ઇન્સ્ટોલેશનને સક્ષમ બનાવે છે અને ઇન્સ્ટોલેશન ભૂલોને કારણે શોધ વિચલનો ઘટાડે છે.
Iii. લાંબા ગાળાની સ્થિરતા: સાધનોની જાળવણીને કારણે થતા ચોકસાઇ નુકસાનમાં ઘટાડો
ગ્રેનાઈટમાં ઉચ્ચ કઠિનતા અને મજબૂત ઘસારો પ્રતિકાર છે, જેમાં 6 થી 7 ની મોહ્સ કઠિનતા છે, જે સામાન્ય સ્ટીલના ઘસારો પ્રતિકાર કરતા ત્રણ ગણી વધારે છે. લાંબા ગાળાના નિરીક્ષણ કામગીરી દરમિયાન, મશીન બેઝની સપાટી ઘસારો થવાની સંભાવના ધરાવતી નથી અને હંમેશા સારી ચોકસાઇ સ્થિતિ જાળવી શકે છે. તેનાથી વિપરીત, અન્ય સામગ્રીથી બનેલા પાયા ઘસારાને કારણે સાધનોના ઇન્સ્ટોલેશન સંદર્ભમાં ફેરફાર લાવી શકે છે, જેનાથી શોધ ચોકસાઈને અસર થાય છે અને વારંવાર કેલિબ્રેશન અને જાળવણીની જરૂર પડે છે. ગ્રેનાઈટ બેઝની લાંબી સેવા જીવન અને ઉચ્ચ સ્થિરતા અસરકારક રીતે સાધનોની જાળવણીની આવર્તન ઘટાડે છે અને જાળવણી પ્રક્રિયા દરમિયાન થઈ શકે તેવા ચોકસાઇ નુકસાનનું જોખમ ઘટાડે છે.
આંચકા પ્રતિકાર, ગરમી પ્રતિકારથી લઈને ચોક્કસ ડિઝાઇન સુધી, ગ્રેનાઈટ બેઝની દરેક વિશેષતા વેફર્સના બિન-વિનાશક પરીક્ષણની ચોકસાઈનું રક્ષણ કરે છે. આજના સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન યુગમાં જે અંતિમ ચોકસાઈને અનુસરે છે, ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા ગ્રેનાઈટ બેઝની પસંદગી એ પરીક્ષણ પરિણામોની ચોકસાઈ અને વિશ્વસનીયતામાં વીમાનો નક્કર સ્તર ઉમેરવા જેવું છે.
પોસ્ટ સમય: જૂન-૧૮-૨૦૨૫