ગ્રેનાઈટ બેઝ: તે ફોટોલિથોગ્રાફી મશીનોનો "ગોલ્ડન પાર્ટનર" કેમ છે?

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં, ફોટોલિથોગ્રાફી મશીન એ એક મુખ્ય ઉપકરણ છે જે ચિપ્સની ચોકસાઈ નક્કી કરે છે, અને ગ્રેનાઈટ બેઝ, તેની બહુવિધ લાક્ષણિકતાઓ સાથે, ફોટોલિથોગ્રાફી મશીનનો એક અનિવાર્ય ઘટક બની ગયો છે.

થર્મલ સ્થિરતા: તાપમાનના ફેરફારો સામે "ઢાલ"
જ્યારે ફોટોલિથોગ્રાફી મશીન કાર્યરત હોય છે, ત્યારે તે મોટી માત્રામાં ગરમી ઉત્પન્ન કરે છે. માત્ર 0.1℃ તાપમાનમાં વધઘટ પણ ઉપકરણના ઘટકોના વિકૃતિનું કારણ બની શકે છે અને ફોટોલિથોગ્રાફીની ચોકસાઈને અસર કરી શકે છે. ગ્રેનાઈટના થર્મલ વિસ્તરણનો ગુણાંક અત્યંત ઓછો છે, ફક્ત 4-8 ×10⁻⁶/℃, જે સ્ટીલના લગભગ 1/3 અને એલ્યુમિનિયમ એલોયના 1/5 છે. આનાથી ગ્રેનાઈટ બેઝ લાંબા સમય સુધી કાર્યરત હોય અથવા પર્યાવરણીય તાપમાનમાં ફેરફાર થાય ત્યારે પરિમાણીય સ્થિરતા જાળવી શકે છે, જેનાથી ઓપ્ટિકલ ઘટકો અને યાંત્રિક માળખાંની ચોક્કસ સ્થિતિ સુનિશ્ચિત થાય છે.

સુપર એન્ટી-વાઇબ્રેશન પર્ફોર્મન્સ: "સ્પોન્જ" જે વાઇબ્રેશનને શોષી લે છે
સેમિકન્ડક્ટર ફેક્ટરીમાં, આસપાસના સાધનોનું સંચાલન અને લોકોની હિલચાલ બધા કંપન ઉત્પન્ન કરી શકે છે. ગ્રેનાઈટમાં ઉચ્ચ ઘનતા અને કઠણ રચના હોય છે, અને તેમાં ઉત્તમ ભીનાશ ગુણધર્મો હોય છે, જેનો ભીનાશ ગુણોત્તર ધાતુઓ કરતા 2 થી 5 ગણો હોય છે. જ્યારે બાહ્ય સ્પંદનો ગ્રેનાઈટ બેઝમાં પ્રસારિત થાય છે, ત્યારે આંતરિક ખનિજ સ્ફટિકો વચ્ચેનું ઘર્ષણ કંપન ઊર્જાને વિસર્જન માટે ગરમી ઊર્જામાં રૂપાંતરિત કરે છે, જે ટૂંકા સમયમાં કંપનને નોંધપાત્ર રીતે ઘટાડી શકે છે, જેનાથી ફોટોલિથોગ્રાફી મશીન ઝડપથી સ્થિરતા પુનઃસ્થાપિત કરી શકે છે અને કંપનને કારણે ફોટોલિથોગ્રાફી પેટર્નને ઝાંખી અથવા ખોટી રીતે ગોઠવણી ટાળી શકે છે.

રાસાયણિક સ્થિરતા: સ્વચ્છ પર્યાવરણનો "રક્ષક"
ફોટોલિથોગ્રાફી મશીનનો આંતરિક ભાગ વિવિધ રાસાયણિક માધ્યમોના સંપર્કમાં આવે છે, અને સામાન્ય ધાતુની સામગ્રી કાટ લાગવા અથવા કણો છોડવા માટે સંવેદનશીલ હોય છે. ગ્રેનાઈટ ક્વાર્ટઝ અને ફેલ્ડસ્પાર જેવા ખનિજોથી બનેલું છે. તેમાં સ્થિર રાસાયણિક ગુણધર્મો અને મજબૂત કાટ પ્રતિકાર છે. એસિડ અને આલ્કલી દ્રાવણમાં પલાળ્યા પછી, સપાટીનો કાટ અત્યંત નાનો હોય છે. દરમિયાન, તેની ગાઢ રચના લગભગ કોઈ કાટમાળ અથવા ધૂળ ઉત્પન્ન કરતી નથી, જે ઉચ્ચતમ સ્વચ્છ રૂમ ધોરણોની જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરે છે અને વેફર દૂષણનું જોખમ ઘટાડે છે.

પ્રોસેસિંગ અનુકૂલનક્ષમતા: ચોક્કસ બેન્ચમાર્ક બનાવવા માટે "આદર્શ સામગ્રી"
ફોટોલિથોગ્રાફી મશીનના મુખ્ય ઘટકો ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા સંદર્ભ સપાટી પર સ્થાપિત કરવા આવશ્યક છે. ગ્રેનાઈટનું આંતરિક માળખું એકસમાન છે અને ગ્રાઇન્ડીંગ, પોલિશિંગ અને અન્ય તકનીકો દ્વારા તેને અત્યંત ઉચ્ચ ચોકસાઇ સુધી પ્રક્રિયા કરવી સરળ છે. તેની સપાટતા ≤0.5μm/m સુધી પહોંચી શકે છે, અને સપાટીની ખરબચડી Ra ≤0.05μm છે, જે ઓપ્ટિકલ લેન્સ જેવા ઘટકો માટે ચોક્કસ ઇન્સ્ટોલેશન આધાર પૂરો પાડે છે.

લાંબુ આયુષ્ય અને જાળવણી-મુક્ત: ખર્ચ ઘટાડવા માટે "તીક્ષ્ણ સાધનો"
લાંબા ગાળાના ઉપયોગથી થાક અને તિરાડ પડવાની સંભાવના ધરાવતી ધાતુની સામગ્રીની તુલનામાં, ગ્રેનાઈટ સામાન્ય ભાર હેઠળ ભાગ્યે જ પ્લાસ્ટિક વિકૃતિ અથવા ફ્રેક્ચરમાંથી પસાર થાય છે, અને તેને સપાટીની સારવારની જરૂર નથી, આમ કોટિંગ છાલવા અને દૂષણનું જોખમ ટાળે છે. વ્યવહારુ ઉપયોગોમાં, ઘણા વર્ષો સુધી ઉપયોગ કર્યા પછી, ગ્રેનાઈટ બેઝના મુખ્ય પ્રદર્શન સૂચકાંકો હજુ પણ સ્થિર રહી શકે છે, જે સાધનોના સંચાલન અને જાળવણી ખર્ચમાં ઘટાડો કરે છે.

થર્મલ સ્થિરતા, કંપન પ્રતિકારથી લઈને રાસાયણિક જડતા સુધી, ગ્રેનાઈટ બેઝની બહુવિધ લાક્ષણિકતાઓ ફોટોલિથોગ્રાફી મશીનની જરૂરિયાતોને સંપૂર્ણ રીતે પૂર્ણ કરે છે. જેમ જેમ ચિપ ઉત્પાદન પ્રક્રિયા ઉચ્ચ ચોકસાઇ તરફ વિકાસ પામતી રહેશે, તેમ તેમ ગ્રેનાઈટ બેઝ સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનના ક્ષેત્રમાં અનિવાર્ય ભૂમિકા ભજવવાનું ચાલુ રાખશે.