સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પાછળના "રોક ફોર્સ" ને ડિક્રિપ્ટ કરો - ગ્રેનાઈટ ચોકસાઇ ઘટકો ચિપ ઉત્પાદનની ચોકસાઇ સીમાને કેવી રીતે ફરીથી આકાર આપી શકે છે

સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં ચોકસાઇ ક્રાંતિ: જ્યારે ગ્રેનાઈટ માઇક્રોન ટેકનોલોજીને મળે છે
૧.૧ સામગ્રી વિજ્ઞાનમાં અણધારી શોધો
2023 ના SEMI ઇન્ટરનેશનલ સેમિકન્ડક્ટર એસોસિએશનના અહેવાલ મુજબ, વિશ્વના 63% અદ્યતન ફેબ્રિક્સે પરંપરાગત મેટલ પ્લેટફોર્મને બદલે ગ્રેનાઈટ બેઝનો ઉપયોગ કરવાનું શરૂ કર્યું છે. પૃથ્વીના ઊંડાણમાં મેગ્મા કન્ડેન્સેશનમાંથી ઉદ્ભવતો આ કુદરતી પથ્થર, તેના અનન્ય ભૌતિક ગુણધર્મોને કારણે સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનના ઇતિહાસને ફરીથી લખી રહ્યો છે:

થર્મલ જડતાનો ફાયદો: ગ્રેનાઈટ 4.5×10⁻⁶/℃ નો થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક સ્ટેનલેસ સ્ટીલના માત્ર 1/5 ભાગ છે, અને લિથોગ્રાફી મશીનના સતત કાર્યમાં ±0.001mm ની પરિમાણીય સ્થિરતા જાળવવામાં આવે છે.

વાઇબ્રેશન ડેમ્પિંગ લાક્ષણિકતાઓ: આંતરિક ઘર્ષણ ગુણાંક કાસ્ટ આયર્ન કરતા 15 ગણો વધારે છે, જે અસરકારક રીતે સાધનોના માઇક્રો-વાઇબ્રેશનને શોષી લે છે.

શૂન્ય ચુંબકીયકરણ પ્રકૃતિ: લેસર માપનમાં ચુંબકીય ભૂલને સંપૂર્ણપણે દૂર કરો

૧.૨ ખાણથી ફેબ સુધીની મેટામોર્ફોસિસ યાત્રા
શેનડોંગમાં ZHHIMG ના બુદ્ધિશાળી ઉત્પાદન આધારને ઉદાહરણ તરીકે લેતા, કાચા ગ્રેનાઈટના ટુકડાને આમાંથી પસાર થવાની જરૂર છે:

અતિ-ચોકસાઇ મશીનિંગ: 200 કલાક સતત મિલિંગ માટે પાંચ-અક્ષીય જોડાણ મશીનિંગ કેન્દ્ર, Ra0.008μm સુધી સપાટીની ખરબચડી

કૃત્રિમ વૃદ્ધત્વ સારવાર: સતત તાપમાન અને ભેજ વર્કશોપમાં 48 કલાક કુદરતી તાણ મુક્તિ, જે ઉત્પાદનની સ્થિરતામાં 40% સુધારો કરે છે.
બીજું, સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન "રોક સોલ્યુશન" ની છ ચોકસાઇ સમસ્યાઓ ઉકેલો.
૨.૧ વેફર ફ્રેગમેન્ટેશન રેટ રિડક્શન સ્કીમ

કેસ પ્રદર્શન: જર્મનીમાં એક ચિપ ફાઉન્ડ્રી દ્વારા અમારા ગેસ ફ્લોટિંગ ગ્રેનાઈટ પ્લેટફોર્મને અપનાવ્યા પછી:

વેફર વ્યાસ	ચિપ રેટ ઘટાડો	સપાટતામાં સુધારો
૧૨ ઇંચ	૬૭%	≤0.001 મીમી
૧૮ ઇંચ	૮૨%	≤0.0005 મીમી

૨.૨ લિથોગ્રાફિક ગોઠવણી ચોકસાઈ પ્રગતિ યોજના

તાપમાન વળતર સિસ્ટમ: એમ્બેડેડ સિરામિક સેન્સર રીઅલ ટાઇમમાં આકાર ચલનું નિરીક્ષણ કરે છે અને આપમેળે પ્લેટફોર્મ ઝોકને સમાયોજિત કરે છે
માપેલ ડેટા: 28℃±5℃ ના વધઘટ હેઠળ, એમ્બેડિંગ ચોકસાઈ 0.12μm કરતા ઓછી વધઘટ થાય છે.