શું તમારી સબ-માઈક્રોન નિરીક્ષણ પ્રક્રિયામાં સિરામિક સ્ટ્રેટ એજ ખૂટતી કડી હોઈ શકે છે?

ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા ઉત્પાદનની દુનિયામાં - જ્યાં સહિષ્ણુતા 5 માઇક્રોનથી નીચે સંકોચાય છે અને સપાટીની પૂર્ણાહુતિ ઓપ્ટિકલ ગુણવત્તા તરફ આગળ વધે છે - આપણે જે સાધનો પર આધાર રાખીએ છીએ તે પરંપરાથી આગળ વધવું જોઈએ. દાયકાઓ સુધી, સ્ટીલ અને ગ્રેનાઈટ મેટ્રોલોજી બેન્ચ પર શાસન કરતા હતા. પરંતુ જેમ જેમ સેમિકન્ડક્ટર સાધનો, એરોસ્પેસ ઓપ્ટિક્સ અને મેડિકલ માઇક્રો-ડિવાઇસ જેવા ઉદ્યોગો એવા ક્ષેત્રમાં આગળ વધે છે જ્યાં થર્મલ ડ્રિફ્ટ અથવા માઇક્રોસ્કોપિક વસ્ત્રો પણ અસ્વીકાર્ય ભૂલ રજૂ કરે છે, સંદર્ભ સાધનોનો એક નવો વર્ગ ઉભરી રહ્યો છે: જે ધાતુ અથવા પથ્થરમાંથી નહીં, પરંતુ અદ્યતન તકનીકી સિરામિક્સમાંથી બનાવવામાં આવ્યા છે.

ZHHIMG ખાતે, અમે ફક્ત ઓફર કરવાથી આગળ વધી ગયા છીએસિરામિક સ્ટ્રેટ રુલરઅથવા સિરામિક સ્ક્વેર રુલર પ્રોડક્ટ્સ. અમે સીધી ધાર શું હોઈ શકે તે ફરીથી વ્યાખ્યાયિત કરી રહ્યા છીએ - અતિ-સ્થિર સિરામિક સામગ્રીને અત્યાધુનિક ડિઝાઇન સાથે જોડીને, જેમાં અમારા ગ્રાઉન્ડબ્રેકિંગ કસ્ટમ સિરામિક એર ફ્લોટિંગ રુલરનો સમાવેશ થાય છે, એક સોલ્યુશન જે નેનોમીટર-સ્તરની પુનરાવર્તિતતા પ્રદાન કરતી વખતે યાંત્રિક સંપર્કને સંપૂર્ણપણે દૂર કરે છે.

સિરામિક્સ શા માટે? જવાબ પરમાણુ સ્તરેથી શરૂ થાય છે. સ્ટીલ - જે તાપમાન સાથે નોંધપાત્ર રીતે વિસ્તરે છે - અથવા ગ્રેનાઈટ - જે તેની સ્થિરતા હોવા છતાં, છિદ્રાળુ અને વિજાતીય રહે છે - તેનાથી વિપરીત, ઝિર્કોનિયા-ટફન એલ્યુમિના (ZTA) અને સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ જેવા એન્જિનિયર્ડ સિરામિક્સ લગભગ શૂન્ય છિદ્રાળુતા, અસાધારણ કઠિનતા (1400–1800 HV), અને 3–4 µm/m·°C જેટલા ઓછા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક પ્રદાન કરે છે. આનો અર્થ એ છે કે ZHHIMG માંથી સિરામિક સ્ટ્રેટ એજ તાપમાનના સ્વિંગમાં તેની ભૂમિતિ જાળવી રાખે છે જે પરંપરાગત સાધનોને ઘણા માઇક્રોન દ્વારા વિકૃત કરશે.

પરંતુ માત્ર સામગ્રી પૂરતી નથી. અમારા સિરામિક રૂલર્સને ખરેખર અલગ પાડતી વસ્તુ તેમના ફેબ્રિકેશનની ચોકસાઈ છે. ISO ક્લાસ 5 ક્લીનરૂમમાં ડાયમંડ ગ્રાઇન્ડીંગ, સબ-એપર્ચર પોલિશિંગ અને લેસર ઇન્ટરફેરોમેટ્રિક વેલિડેશનનો ઉપયોગ કરીને, અમે 500 મીમીથી વધુ 0.8 µm કરતાં વધુ સારી સીધીતા સહિષ્ણુતા પ્રાપ્ત કરીએ છીએ - જે ફક્ત ડિલિવરી સમયે જ ચકાસાયેલ નથી, પરંતુ NIST અને PTB ધોરણો અનુસાર શોધી શકાય તેવા સંપૂર્ણ કેલિબ્રેશન રિપોર્ટ્સમાં દસ્તાવેજીકૃત છે. દરેકસિરામિક સ્ક્વેર રુલરઇલેક્ટ્રોનિક ઓટોકોલિમેશન દ્વારા લંબ પરીક્ષણમાંથી પસાર થાય છે, ખાતરી કરે છે કે ખૂણા 1 ચાપ-સેકન્ડ (100 મીમી પર ≈0.5 µm વિચલન) ની અંદર રાખવામાં આવે છે.

આ સૈદ્ધાંતિક સ્પષ્ટીકરણો નથી. તે એવા ગ્રાહકો માટે કાર્યકારી વાસ્તવિકતાઓ છે જે હવે સમાધાન કરી શકતા નથી. એક અગ્રણી EUV લિથોગ્રાફી ઘટક સપ્લાયર હવે અમારા સિરામિક સ્ટ્રેટ રુલરનો ઉપયોગ ફક્ત મિરર સપોર્ટ ફ્રેમ્સને ગોઠવવા માટે કરે છે. "લાંબા એક્સપોઝર ચક્ર દરમિયાન સ્ટીલ રુલર વિકૃત થઈ ગયા," તેમના મુખ્ય મેટ્રોલોજિસ્ટે અમને કહ્યું. "ગ્રેનાઈટ કણોને ઉપાડી લે છે. સિરામિક સંસ્કરણ? તે 18 મહિનાથી સ્થિર છે - કોઈ પુનઃકેલિબ્રેશનની જરૂર નથી."

છતાં સંપૂર્ણ ભૂમિતિ પણ સંપર્ક દ્વારા ચેડા થઈ શકે છે. સપાટી પર રૂલર ખેંચો, અને તમને માઇક્રો-સ્ક્રેચ, ઓઇલ ફિલ્મ હસ્તક્ષેપ અથવા સ્થિતિસ્થાપક વિકૃતિનું જોખમ રહે છે - ખાસ કરીને નરમ ધાતુઓ અથવા પોલિશ્ડ ઓપ્ટિક્સ પર. આ તે જગ્યા છે જ્યાં ZHHIMG ની નવીનતા કસ્ટમ સિરામિક એર ફ્લોટિંગ રૂલર સાથે આગળ વધે છે.

આ ફક્ત એક સિરામિક સીધી ધાર નથી જેમાં છિદ્રો ખોદવામાં આવ્યા છે. તે એક સંપૂર્ણ એન્જિનિયર્ડ એરોસ્ટેટિક સિસ્ટમ છે, જે રુલરની સમગ્ર લંબાઈ પર એકસમાન, લેમિનર એરફ્લો પહોંચાડવા માટે કોમ્પ્યુટેશનલ ફ્લુઇડ ડાયનેમિક્સનો ઉપયોગ કરીને ડિઝાઇન કરવામાં આવી છે. જ્યારે સ્વચ્છ, સૂકી હવા (અથવા સંવેદનશીલ વાતાવરણમાં નાઇટ્રોજન) સાથે દબાણ કરવામાં આવે છે, ત્યારે રુલર વર્કપીસ ઉપર 5-10 માઇક્રોન તરે છે - સંપૂર્ણ ગોઠવણી જાળવી રાખીને ભૌતિક સંપર્કને દૂર કરે છે. પરિણામ? સપાટતા, સીધીતા અથવા પગલાની ઊંચાઈ ચકાસણી માટે સાચું બિન-સંપર્ક માપન, ±0.2 µm સુધી પુનરાવર્તિતતા સાથે.

સ્વિટ્ઝર્લૅન્ડમાં એક ક્વોન્ટમ કમ્પ્યુટિંગ લેબ હવે સુપરકન્ડક્ટિંગ ચિપ કેરિયર્સનું નિરીક્ષણ કરવા માટે 600-મીમી કસ્ટમ સિરામિક એર ફ્લોટિંગ રૂલરનો ઉપયોગ કરે છે. "કોઈપણ સંપર્ક - સોફ્ટ સ્ટાઇલસ સાથે પણ - તણાવ લાવે છે જે ક્વિબિટ કામગીરીમાં ફેરફાર કરે છે," તેમના પ્રોસેસ એન્જિનિયરે સમજાવ્યું. "એર-ફ્લોટિંગ સિરામિક રૂલર આપણને ભાગને સ્પર્શ કર્યા વિના જરૂરી સંદર્ભ આપે છે. તે મિશન-ક્રિટીકલ બની ગયું છે."

ZHHIMG નું મટીરીયલ સાયન્સ, ચોકસાઇ મશીનિંગ અને મેટ્રોલોજી કુશળતાનું અનોખું એકીકરણ આ શક્ય બનાવે છે. જ્યારે ઘણા સપ્લાયર્સ સિરામિક્સને માળખાકીય ઘટકો તરીકે ગણે છે, ત્યારે અમે તેમને માપન કલાકૃતિઓ તરીકે ઑપ્ટિમાઇઝ કરીએ છીએ. અમારા સિરામિક સ્ક્વેર રુલર ડિઝાઇનમાં ચીપિંગ અટકાવવા માટે ચેમ્ફર્ડ એજ, નિરીક્ષણ લાઇટિંગ હેઠળ ઝગઝગાટ ઘટાડવા માટે મેટ-ફિનિશ્ડ બેક અને ઓટોમેટેડ વિઝન સિસ્ટમ્સ માટે વૈકલ્પિક ફિડ્યુશિયલ માર્કર્સનો સમાવેશ થાય છે. ક્લીનરૂમ એપ્લિકેશનો માટે, કણોના સંલગ્નતાને ઘટાડવા માટે સપાટીઓને Ra < 0.02 µm સુધી પોલિશ કરવામાં આવે છે.

અને કારણ કે દરેક એપ્લિકેશન અલગ હોય છે, અમે બધા માટે એક જ કદમાં માનતા નથી. નિરીક્ષણ દરમિયાન પાતળા વેફરને પકડી રાખવા માટે એમ્બેડેડ વેક્યુમ ચેનલો સાથે સિરામિક સ્ટ્રેટ એજની જરૂર છે? અમે તે બનાવ્યું છે. જરૂર છેચોરસ શાસકશું તમારા CMM પ્રોબ ટિપ સાથે થ્રુ-હોલ્સ ગોઠવાયેલા છે? થઈ ગયું. ઇન્ટિગ્રેટેડ પ્રેશર સેન્સર અને ડિજિટલ લેવલિંગ ફીડબેક સાથે કસ્ટમ સિરામિક એર ફ્લોટિંગ રૂલર જોઈએ છે? તે પહેલાથી જ ટાયર-1 એરોસ્પેસ ક્લાયંટ સાથે બીટા પરીક્ષણમાં છે.

ત્યારબાદ ઉદ્યોગને માન્યતા મળી. 2025 ગ્લોબલ એડવાન્સ્ડ મેટ્રોલોજી રિવ્યૂમાં, ZHHIMG ને એકમાત્ર કંપની તરીકે ટાંકવામાં આવી હતી જે સંપૂર્ણ ભૌમિતિક માન્યતા અને ડિજિટલ ટ્રેસેબિલિટી સાથે પ્રમાણિત સિરામિક સંદર્ભ સાધનોનો સંપૂર્ણ પરિવાર - ફ્લોટિંગ વેરિઅન્ટ્સ સહિત - ઓફર કરે છે. પરંતુ વધુ મહત્ત્વની વાત એ છે કે, અપનાવવાની પ્રક્રિયા ઝડપી બની રહી છે: અમારા 60% થી વધુ સિરામિક રૂલર ઓર્ડર હવે એવા ઉદ્યોગોમાંથી આવે છે જેઓ અગાઉ આવા સાધનોને "ઓવરકિલ" માનતા હતા - જ્યાં સુધી તેઓ તફાવત માપતા ન હતા.

સ્ટીલથી અમારા સિરામિક સ્ક્વેર રુલર પર સ્વિચ કરેલા ન્યુરલ ઇમ્પ્લાન્ટ્સનું ઉત્પાદન કરતી એક મેડિકલ ડિવાઇસ સ્ટાર્ટઅપે તેમના ફર્સ્ટ-પાસ યીલ્ડમાં 22%નો વધારો જોયો. "જૂના સ્ક્વેરમાં ટાઇટેનિયમ હાઉસિંગ પર માઇક્રો-ગેજ બાકી હતા," તેમના QA મેનેજરે કહ્યું. "અમે સ્વિચ ન કર્યું ત્યાં સુધી અમને તેનો ખ્યાલ પણ નહોતો. હવે, દરેક ભાગ પ્રથમ પ્રયાસમાં જ દ્રશ્ય અને પરિમાણીય તપાસમાંથી પસાર થાય છે."

તેથી જ્યારે તમે તમારા આગામી મેટ્રોલોજી અપગ્રેડનું મૂલ્યાંકન કરો છો, ત્યારે તમારી જાતને પૂછો: શું મારી વર્તમાન સીધી ધાર અનિશ્ચિતતા ઉમેરી રહી છે - અથવા તેને દૂર કરી રહી છે?

જો તમારી પ્રક્રિયા શોધક્ષમતાની ધાર પર કાર્ય કરે છે, તો જવાબ સિરામિક્સમાં રહેલો હોઈ શકે છે - નવીનતા તરીકે નહીં, પરંતુ આવશ્યકતા તરીકે. ZHHIMG ખાતે, અમે ફક્ત સિરામિક સ્ટ્રેટ રુલર, સિરામિક સ્ક્વેર રુલર અથવા સિરામિક સ્ટ્રેટ એજ ટૂલ્સનું ઉત્પાદન કરતા નથી. અમે દરેક માઇક્રોનમાં આત્મવિશ્વાસનું એન્જિનિયરિંગ કરીએ છીએ.