સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં, જ્યાં "નેનોમીટર" માપનનું પ્રમાણભૂત એકમ છે, ત્યાં સાધનોની માળખાકીય અખંડિતતા પર કોઈ વાટાઘાટો થઈ શકતી નથી. જેમ જેમ ચિપ નોડ્સ 5nm અને તેનાથી વધુ સંકોચાય છે, તેમ તેમ વાઇબ્રેશન ડેમ્પિંગ અને થર્મલ સ્થિરતાની માંગ આત્યંતિક સ્તરે પહોંચે છે. પ્રિસિઝન ગ્રેનાઈટ ઘટકો ઉચ્ચ કક્ષાના વિકલ્પમાંથી સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન હાર્ડવેરના આવશ્યક "DNA" તરફ સંક્રમિત થયા છે.
ઉચ્ચ-સ્થિરતા ઉપકરણોના માળખાના અગ્રણી પ્રદાતા તરીકે, ZHHIMG® આઠ સૌથી મહત્વપૂર્ણ એપ્લિકેશનોનું વિશ્લેષણ કરે છે જ્યાં ગ્રેનાઈટ ફેબનો શાંત હીરો છે.
૧. લિથોગ્રાફી મશીન બેઝ
લિથોગ્રાફી મશીન એ સેમિકન્ડક્ટર શૃંખલામાં સૌથી જટિલ સાધન છે. આધાર સંપૂર્ણપણે સ્થિર રહેતી વખતે વિશાળ ઓપ્ટિકલ સિસ્ટમોને ટેકો આપવો જોઈએ. ગ્રેનાઈટની ઉચ્ચ ઘનતા અને આંતરિક ભીનાશ તેને આસપાસના વાતાવરણમાંથી સૂક્ષ્મ-કંપનોને શોષવાની મંજૂરી આપે છે, જે ખાતરી કરે છે કે પ્રકાશ સ્ત્રોત અણુ સ્તરે ગોઠવાયેલ રહે છે.
2. એર બેરિંગ ગતિ તબક્કાઓ
હાઇ-સ્પીડ વેફર ટ્રાન્સપોર્ટ માટે ઘર્ષણ-મુક્ત ગતિવિધિની જરૂર પડે છે. કારણ કે ગ્રેનાઈટને સબ-માઇક્રોન ફ્લેટનેસ પર લપેટી શકાય છે, તે એર બેરિંગ ટેકનોલોજી માટે સંપૂર્ણ ભાગીદાર તરીકે સેવા આપે છે. "એર કુશન" ગ્રેનાઈટ સપાટી પર શૂન્ય ઘસારો સાથે ગ્લાઇડ કરે છે, જે સ્કેનિંગ અને પોઝિશનિંગ માટે જરૂરી અતિ-સરળ ગતિ પ્રદાન કરે છે.
૩. વેફર નિરીક્ષણ અને મેટ્રોલોજી પ્લેટફોર્મ
એચિંગ પછી, વેફર્સને ખામીઓ માટે તપાસવા જોઈએ. મશીન ફ્રેમમાં કોઈપણ થર્મલ વિસ્તરણ "ખોટા પોઝિટિવ" અથવા ચૂકી ગયેલી ખામીમાં પરિણમશે.ચોકસાઇ ગ્રેનાઈટ ઘટકોથર્મલી ઇનર્ટ વાતાવરણ પૂરું પાડે છે, ખાતરી કરે છે કે નિરીક્ષણ ડેટા વેફરની સપાટીનું સાચું પ્રતિબિંબ છે, મશીનની વિકૃતિનું નહીં.
૪. ગેન્ટ્રી મોશન સિસ્ટમ્સ (બ્રિજ સ્ટ્રક્ચર્સ)
હાઇ-સ્પીડ ડાયસિંગ અથવા વાયર બોન્ડિંગમાં, "બ્રિજ" અથવા ગેન્ટ્રી ધ્રુજારી વિના ઝડપથી આગળ વધવું જોઈએ. ગ્રેનાઈટ ગેન્ટ્રી કાસ્ટ આયર્નની તુલનામાં શ્રેષ્ઠ કઠિનતા-થી-માસ ગુણોત્તર પ્રદાન કરે છે, જે "સ્થાયી થવાનો સમય" નોંધપાત્ર રીતે ઘટાડે છે - તે સમય જે મશીનને તેનું આગલું કાર્ય પૂર્ણ કરવા પહેલાં કંપન બંધ થવાની રાહ જોવી પડે છે.
5. લેસર રિપેર સાધનોના ફ્રેમ્સ
જ્યારે માસ્ક અથવા વેફર પર ખામી જોવા મળે છે, ત્યારે ચોકસાઇ સમારકામ માટે લેસરનો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે. આ માટે એક માળખાકીય પાયો જરૂરી છે જે સંપૂર્ણપણે બિન-ચુંબકીય અને બિન-વાહક હોય. ગ્રેનાઈટ કુદરતી રીતે ઇન્સ્યુલેટીંગ છે, જે નાજુક લેસર માર્ગને અસર કરતા ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક હસ્તક્ષેપને અટકાવે છે.
૬. ક્લીનરૂમ માટે સીએમએમ (કોઓર્ડિનેટ મેઝરિંગ મશીનો).
સેમિકન્ડક્ટર સુવિધામાં ગુણવત્તા નિયંત્રણ માટે એવા CMM ની જરૂર પડે છે જે કડક ક્લીનરૂમ પ્રોટોકોલનો સામનો કરી શકે. ધાતુથી વિપરીત, જે કણોને દૂર કરી શકે છે અથવા ઓક્સિડાઇઝ કરી શકે છે, ગ્રેનાઈટ એસિડ-પ્રતિરોધક અને કાટ-પ્રતિરોધક છે, જે પર્યાવરણને દૂષિત કર્યા વિના ઉચ્ચ-સ્થિરતાવાળા ઉપકરણ માળખાને જાળવી રાખે છે.
7. કેમિકલ મિકેનિકલ પોલિશિંગ (CMP) બેઝ
CMP પ્રક્રિયામાં સ્લરી અને રાસાયણિક એજન્ટોનો સમાવેશ થાય છે જે ધાતુઓ માટે ખૂબ જ કાટ લાગતા હોય છે. ગ્રેનાઈટનો કુદરતી રાસાયણિક પ્રતિકાર તેને પોલિશિંગ યુનિટ્સના માળખાકીય આધાર માટે આદર્શ સામગ્રી બનાવે છે, જે કઠોર રાસાયણિક વાતાવરણમાં પણ લાંબી સેવા જીવન સુનિશ્ચિત કરે છે.
8. આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન સિસ્ટમ્સ
આયન ઇમ્પ્લાન્ટરમાં ઉચ્ચ-વોલ્ટેજ વાતાવરણમાં એવા ઘટકોની જરૂર પડે છે જે આયન બીમમાં દખલ ન કરે અથવા ઇલેક્ટ્રિકલ આર્સિંગ ન બનાવે. ગ્રેનાઈટના ડાઇલેક્ટ્રિક ગુણધર્મો તેને સંવેદનશીલ ઇલેક્ટ્રિકલ અને વેક્યુમ ઘટકોને માઉન્ટ કરવા માટે સલામત અને સ્થિર પસંદગી બનાવે છે.
સેમિકન્ડક્ટર ઇન્ફ્રાસ્ટ્રક્ચર માટે ZHHIMG® શા માટે?
ZHHIMG® ખાતે, અમે સમજીએ છીએ કે સેમિકન્ડક્ટર સાધનોનો આધાર ફક્ત પથ્થરના ટુકડા કરતાં વધુ છે - તે એક માપાંકિત સાધન છે. અમારા વિશિષ્ટ કાળા ગ્રેનાઈટ, અમારી 30+ વર્ષની મેન્યુઅલ ગ્રાઇન્ડીંગ કુશળતા સાથે, અમને સપાટતા અને સમાંતરતા ગ્રેડ પ્રાપ્ત કરવાની મંજૂરી આપે છે જે સબ-માઇક્રોન યુગની સખત જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરે છે.
-
સામગ્રી: ઉચ્ચ-ઘનતા, અતિ-સુક્ષ્મ-દાણાદાર ZHHIMG® કાળો ગ્રેનાઈટ.
-
ચોકસાઇ: DIN 876 ગ્રેડ 00 અથવા કસ્ટમ JIS/ASME સ્પષ્ટીકરણો અનુસાર ચોકસાઈ ગ્રેડ.
-
કસ્ટમાઇઝેશન: અમારા 10,000m² કોન્સ્ટન્ટ-ટેમ્પરેચર વર્કશોપમાં ઇન્ટિગ્રેટેડ ઇન્સર્ટ્સ, ટી-સ્લોટ્સ અને એર-બેરિંગ ટ્રેક પહેલાથી ઇન્સ્ટોલ કરેલા છે.
પોસ્ટ સમય: માર્ચ-૧૮-૨૦૨૬