સેમિકન્ડક્ટર સાધનો, CMM અને લેસર સિસ્ટમ્સમાં પ્રિસિઝન ગ્રેનાઈટનો ઉપયોગ શા માટે થાય છે

ચોકસાઇ-મશીનરી ઉદ્યોગમાં ચાલતા રહો અને તમને એ જ ગ્રે પથ્થર મળતો રહે છે. વેફર નિરીક્ષણ સિસ્ટમનો આધાર, કોઓર્ડિનેટ માપન મશીનનો પુલ, ફેમટોસેકન્ડ લેસર કટરનો XY સ્ટેજ - આ બધું ચોકસાઇ ગ્રેનાઈટથી બનેલું છે. આ પરંપરા કે ફેશન નથી; તે મટીરીયલ એન્જિનિયરિંગ છે. આ હબ પેજ ત્રણ સૌથી વધુ માંગણી કરતી એપ્લિકેશનોને એક સરળ માળખા પર મેપ કરે છે -એપ્લિકેશન → એન્જિનિયરિંગ આવશ્યકતા → ગ્રેનાઈટ ઘટક → ગ્રેનાઈટ શા માટે— જેથી OEM એન્જિનિયરો તેમના મશીનને લગતા તર્ક (અને ઘટક) ઝડપથી શોધી શકે.

સેમિકન્ડક્ટર સાધનો

લાક્ષણિક ઘટકો:ગ્રેનાઈટ બેઝ, ગ્રેનાઈટ ગેન્ટ્રી, ગ્રેનાઈટ કોલમ, ગ્રેનાઈટ સ્ટેજ.

એન્જિનિયરિંગ આવશ્યકતાઓ:થર્મલ સ્થિરતા + વાઇબ્રેશન ડેમ્પિંગ + ભૌમિતિક સ્થિરતા.

સેમિકન્ડક્ટર મેટ્રોલોજી અથવા નિરીક્ષણ પ્લેટફોર્મ એક મીટર મુસાફરી પર સબ-માઇક્રોન ગોઠવણી પકડી શકે છે જ્યારે રેખીય મોટર્સ, પર્યાવરણીય નિયંત્રણો અને ઓપરેટરો બધા ગરમી અને કંપન ઇન્જેક્ટ કરે છે.સેમિકન્ડક્ટર ગ્રેનાઈટ બેઝએ નિષ્ક્રિય માળખું છે જે સક્રિય વળતરને ટ્રૅક્ટેબલ બનાવે છે: 5-6 × 10⁻⁶/°C ની આસપાસ થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક અને સ્ટીલ કરતા લગભગ દસ ગણું આંતરિક ભીનાશ સાથે, ગ્રેનાઈટ મશીનની ડેટમ ભૂમિતિને આવશ્યકપણે સ્થિર રાખે છે જ્યારે ઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઝડપી, નાની ભૂલોને સંભાળે છે. ગ્રેનાઈટગેન્ટ્રીએક લેપ્ડ સ્ટ્રક્ચરમાં બે રેલ અને ક્રોસબીમ જોડો, જેથી ઓર્થોગોનાલિટી એડજસ્ટ થવાને બદલે તેમાં બનાવવામાં આવે; ગ્રેનાઈટસ્તંભોZ-સ્ટેક્સ ધરાવતા, જેમાં દળ સુધી ઉચ્ચ કઠિનતા હોય અને મોટર્સ કે સેન્સર્સને ખલેલ પહોંચાડવા માટે કોઈ ચુંબકત્વ ન હોય; ગ્રેનાઈટતબક્કાઓએર બેરિંગ્સ અને વેજ માઉન્ટ્સ માટે સખત, કાટ ન લાગતા રેફરન્સ પ્લેન પૂરા પાડે છે. ક્લીનરૂમ સુસંગતતા એ એક શાંત વધારાનો ફાયદો છે: પથ્થરને કાટ લાગતો નથી, તેને તેલની ફિલ્મની જરૂર નથી, અને કોટેડ ધાતુ કરતાં ઘણું ઓછું ગેસ બહાર કાઢે છે.

કોઓર્ડિનેટ મેઝરિંગ મશીનો (CMM)

લાક્ષણિક ઘટકો:ગ્રેનાઈટ ટેબલ, ગ્રેનાઈટ પુલ, ગ્રેનાઈટ માર્ગદર્શિકાઓ.

એન્જિનિયરિંગ આવશ્યકતાઓ:માપન સંદર્ભ + પરિમાણીય સ્થિરતા.

CMM, સારમાં, એક ભૌતિક સંકલન પ્રણાલી છે.સીએમએમ ગ્રેનાઈટ બેઝ isડેટમ: તેની લેપ કરેલી સપાટી Z ને વ્યાખ્યાયિત કરે છે, અને તેની સપાટતા (ઘણીવાર બે મીટર ઉપર ≤ 3–5 µm, અને પ્રયોગશાળા મશીનો માટે સબ-માઇક્રોન રેન્જમાં) દરેક માપન પરિણામમાં સીધી પ્રવેશ કરે છે.ગ્રેનાઈટ પુલગ્રેનાઈટને વળાંક લીધા વિના વારંવાર ખસેડવું જોઈએ, જે તે કરી શકે છે કારણ કે તેની લંબાઈ સ્ટીલની જેમ આસપાસના તાપમાન સાથે બદલાતી નથી - આજે સવારે માપવામાં આવેલી પુનરાવર્તિતતા આજે બપોરે પણ યથાવત છે.માર્ગદર્શિકાઓ અને બીમસપાટ, સખત સપાટીઓ (મોહ્સ ~6–7) પર બોલ્ટેડ એર-બેરિંગ અથવા સ્લાઇડિંગ પેડ્સ સ્વીકારો જે દાયકાઓ સુધી ડ્યુટી ચક્ર દરમિયાન ઘસારો અને ખંજવાળનો પ્રતિકાર કરે છે. કારણ કે ગ્રેનાઈટ કોઈ શેષ મશીનિંગ તણાવ વહન કરતું નથી, ઇન્સ્ટોલેશન પછી કેલિબ્રેટેડ CMM કેલિબ્રેટેડ રહે છે - લાંબા ગાળાની પરિમાણીય સ્થિરતા એ જ છે જે "માપન સંદર્ભ" માટે જરૂરી છે. પ્લેટફોર્મ પસંદ કરતા ઉત્પાદકો માટે, પસંદ કરવા માટેની અમારી માર્ગદર્શિકાચોકસાઇ સાધનો માટે ગ્રેનાઈટ બેઝકદ અને ગ્રેડ પસંદગીને ઊંડાણપૂર્વક આવરી લે છે.

લેસર સાધનો

લાક્ષણિક ઘટકો:ગ્રેનાઈટ બેઝ, ગ્રેનાઈટ XY સ્ટેજ, ગ્રેનાઈટ માળખાકીય ઘટકો.

એન્જિનિયરિંગ આવશ્યકતાઓ:કંપન નિયંત્રણ + થર્મલ સ્થિરતા.

લેસર પ્રોસેસિંગ એ બે દુશ્મનો સામેની લડાઈ છે: કંપન અને ગરમી. બીમ પોઇન્ટિંગ, ફોકલ પોઝિશન અને કટ ગુણવત્તા સબ-માઇક્રોન પાથ વિચલનોને પ્રતિભાવ આપે છે, તેથીલેસર મશીન ગ્રેનાઈટ બેઝફ્લોર વાઇબ્રેશન અને મશીનની પોતાની ગતિથી ઓપ્ટિકલ પાથને અલગ પાડવો જોઈએ. ગ્રેનાઈટનું ઉચ્ચ આંતરિક ભીનાશ સ્ટેજ-પ્રેરિત વાઇબ્રેશનને ઝડપથી ક્ષીણ કરે છે, માઇક્રો-મશીનિંગમાં ધારને તીક્ષ્ણ બનાવે છે અને કટીંગમાં કર્ફ પહોળાઈને સ્થિર કરે છે. તેનું ઓછું, સપ્રમાણ થર્મલ વિસ્તરણ લેસર સ્ત્રોત અને આસપાસના વાતાવરણને ગરમ થતાં બીમ પાથને ગોઠવાયેલ રાખે છે. ગ્રેનાઈટXY સ્ટેજસપાટ, સખત, બિન-ચુંબકીય સબસ્ટ્રેટ પૂરું પાડે છે જેના પર રેખીય મોટર્સ અને એર બેરિંગ્સ સરકતા હોય છે - બેરિંગ ગેપમાં કાટમાળનું કોઈ ચુંબકીય આકર્ષણ નથી, સહાય-ગેસ કન્ડેન્સેટથી કોઈ કાટ લાગતો નથી. ફેમટોસેકન્ડ અને પિકોસેકન્ડ સિસ્ટમ્સ માટે, જ્યાં પ્રક્રિયા વિન્ડોને નેનોમીટરમાં માપવામાં આવે છે, ગ્રેનાઈટ માળખાકીય ઘટકો અસરકારક રીતે પસંદગીને બદલે સક્ષમ ટેકનોલોજી છે.

ક્રોસ-એપ્લિકેશન સારાંશ

એક સામગ્રી, ત્રણ ઉદ્યોગો - અને એક પુરવઠા પ્રશ્ન

ઉપરોક્ત લાંબા પૂંછડીવાળા કીવર્ડ્સ -સેમિકન્ડક્ટર ગ્રેનાઈટ ઘટકો, CMM ગ્રેનાઈટ ઘટકો, ચોકસાઇ સાધનો માટે ગ્રેનાઈટ બેઝ, ગ્રેનાઈટ સ્ટેજ, ગ્રેનાઈટ ગેન્ટ્રી— બધા એક જ એન્જિનિયરિંગ કોરમાં સમાઈ જાય છે: એક એવી સામગ્રી જે હલતી નથી, કાટ લાગતી નથી, ચુંબકિત થતી નથી અને રિંગ કરતી નથી, જે મશીનના ડેટમ સ્ટ્રક્ચર્સમાં આકાર પામે છે. સપ્લાયર્સને જે અલગ પાડે છે તે પથ્થર નથી પરંતુ ઉત્પાદન પરબિડીયું અને તેની પાછળનું નિરીક્ષણ શિસ્ત છે: બ્લોક પસંદગી, તણાવમુક્ત મશીનિંગ, મોટા-ફોર્મેટ ગ્રાઇન્ડીંગ અને દસ્તાવેજીકૃત અનિશ્ચિતતા સાથે કેલિબ્રેશન.

ઝેડહિમજી®વિશ્વભરમાં સેમિકન્ડક્ટર, CMM અને લેસર સાધનોના ઉત્પાદકો માટે ચોકસાઇવાળા ગ્રેનાઈટ બેઝ, ગેન્ટ્રી, કોલમ, પુલ અને સ્ટેજ પૂરા પાડે છે - જે 100 ટન અને 20 મીટર સુધીના સિંગલ પાર્ટ્સ તરીકે મશીન કરવામાં આવે છે, મોટા-ફોર્મેટ મશીનો પર 6000 મીમી સુધી જમીન પર.તમારી અરજી વિશે અમને કહોઅને અમે તમારા ભૂલ બજેટ સાથે મેળ ખાતી ઘટક ભૂમિતિ, ગ્રેડ અને માઉન્ટિંગ યોજનાનો પ્રસ્તાવ મૂકીશું.