સ્વચ્છ રૂમમાં વપરાતા ગ્રેનાઈટ નિરીક્ષણ કોષ્ટકો પર કઈ ખાસ આવશ્યકતાઓ લાગુ પડે છે?

સેમિકન્ડક્ટર, ઓપ્ટિકલ નિરીક્ષણ અને ચોકસાઇ ઘટક એસેમ્બલી માટેના સ્વચ્છ રૂમમાં, કણોના દૂષણ, કંપન દખલગીરી અને તાપમાન અને ભેજના વધઘટ પર કડક નિયંત્રણો લાગુ કરવામાં આવે છે. ગ્રેનાઈટ નિરીક્ષણ કોષ્ટકો આ જગ્યાઓમાં મુખ્ય મેટ્રોલોજી સંદર્ભ પ્લેટફોર્મ તરીકે સેવા આપે છે. પ્રોજેક્ટ પસંદગી દરમિયાન, ઘણા ખરીદદારો ફક્ત ટેબલટોપની સપાટતા પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે જ્યારે સ્વચ્છ વાતાવરણ દ્વારા લાવવામાં આવતી અનન્ય અવરોધોને અવગણે છે. સ્વચ્છ રૂમ ફક્ત સારી રીતે સાફ કરેલ ઓરડો નથી. ધૂળના કણો, એરફ્લો ટર્બ્યુલન્સ, સામગ્રીનું આઉટગેસિંગ અને માઉન્ટિંગ સ્ટ્રક્ચર્સ ગ્રેનાઈટ ટેબલટોપ્સ સાથે ક્રિયાપ્રતિક્રિયા કરે છે. અયોગ્ય પસંદગી અથવા ઇન્સ્ટોલેશન ફક્ત સ્વચ્છ રૂમ વર્ગીકરણ સાથે સમાધાન કરશે નહીં પરંતુ ધીમે ધીમે ટેબલની ચોકસાઈને પણ ઘટાડશે અને ઉત્પાદન ઉપજ ઘટાડશે. ગ્રેનાઈટ નિરીક્ષણ કોષ્ટકોને સ્વચ્છ રૂમમાં સ્થિર નેનો-સ્તર સંદર્ભ પ્રદર્શન પ્રદાન કરવા માટે સક્ષમ બનાવવા માટે, સામગ્રીની સ્વચ્છતા, સપાટીની સારવાર, ધૂળ-પ્રૂફ માળખાકીય ડિઝાઇન, પર્યાવરણીય સુસંગતતા અને સંચાલન અને જાળવણી વ્યવસ્થાપનને આવરી લેતી ખાસ આવશ્યકતાઓ પૂર્ણ કરવી આવશ્યક છે.

સૌ પ્રથમ, સ્વચ્છ રૂમની સ્થિતિ સાથે સુસંગત સામગ્રી અને સપાટીની સારવારની આવશ્યકતાઓ. સામાન્ય ગ્રેનાઈટ સ્લેબમાં નાના આંતરિક છિદ્રો હોય છે જે ખનિજ ધૂળ અને કાટમાળને ફસાવે છે. આ કણો હવાના પ્રવાહમાં ખલેલ પહોંચાડીને સતત મુક્ત થઈ શકે છે, જે વેફર્સ અને ઓપ્ટિકલ તત્વો જેવા સંવેદનશીલ વર્કપીસને દૂષિત કરે છે. સ્વચ્છ રૂમમાં તૈનાત ગ્રેનાઈટ નિરીક્ષણ કોષ્ટકો અતિ-નીચા છિદ્રાળુતાવાળા ગાઢ કાળા ગ્રેનાઈટ બ્લેન્ક્સથી બનેલા હોય છે. આંતરિક સૂક્ષ્મ છિદ્રોને બંધ કરવા અને સતત કણોના ઉત્સર્જનને દબાવવા માટે તેઓ ખાસ સીલિંગ ટ્રીટમેન્ટમાંથી પસાર થાય છે. ટેબલટોપ ગ્રાઇન્ડીંગ પ્રક્રિયામાં કોઈ અવશેષ ઘર્ષક અનાજ છોડવા જોઈએ નહીં, અને સમાપ્ત સપાટી ધૂળ એકઠી કરતા ખાડાઓથી મુક્ત હોવી જોઈએ. સ્વચ્છ જગ્યાના કાર્બનિક દૂષણને ટાળવા માટે VOC-રિલીઝિંગ પેઇન્ટ અથવા રેઝિનને બદલે સ્વચ્છ, ઓછા-આઉટગેસિંગ રક્ષણાત્મક ફિનિશ અપનાવવામાં આવે છે. ધૂળના સંચયને ઘટાડવા અને નિયમિત સાફ કરવાની સુવિધા આપવા માટે બધી ધાર અને ખૂણાઓ પર સરળ ચેમ્ફર્સ લાગુ કરવામાં આવે છે.

બીજું છે સપોર્ટ અને બેઝ માટે ડસ્ટ-પ્રૂફ અને માઇક્રો-વાઇબ્રેશન રેઝિસ્ટન્ટ ડિઝાઇન. ક્લીનરૂમમાં સામાન્ય રીતે એર કન્ડીશનીંગ એરફ્લો, કન્વેઇંગ સાધનો અને ઓટોમેટેડ પ્લેટફોર્મ દ્વારા નબળા વાઇબ્રેશન ઉત્પન્ન થાય છે. સ્ટાન્ડર્ડ લેવલિંગ ફીટ પર થ્રેડ ગેપ ધૂળ એકત્રિત કરે છે અને બારીક કણો છોડે છે. ક્લીનરૂમ ગ્રેનાઈટ ટેબલ માટે સપોર્ટ એસેમ્બલી ઓછી કણો-શેડિંગ મેટલ સામગ્રીથી બનેલી હોય છે, જેમાં સંપૂર્ણપણે બંધ ડસ્ટ-પ્રૂફ સ્ટ્રક્ચર્સ અને ખુલ્લા થ્રેડો પર રક્ષણાત્મક સ્લીવ્સ ફીટ કરવામાં આવે છે. આખી સપોર્ટ સિસ્ટમ બે હેતુઓ પૂરા પાડે છે: રેફરન્સ પ્લેન જાળવવા માટે ફાઇન લેવલિંગ અને પંખા અને રોબોટિક હેન્ડલર્સમાંથી માઇક્રો-વાઇબ્રેશનને અવરોધવા માટે અસરકારક વાઇબ્રેશન આઇસોલેશન. ક્લીનરૂમ ફ્લોર સામાન્ય રીતે ઇપોક્સી એન્ટિ-સ્ટેટિક ફ્લોર હોય છે, જે પરંપરાગત મેટ્રોલોજી રૂમની જેમ ભારે વાઇબ્રેશન આઇસોલેશન ટ્રેન્ચને સમાવી શકતા નથી. તેથી વાઇબ્રેશન પેડ્સનો ઉપયોગ વાઇબ્રેશન ટ્રાન્સફરને ભીના કરવા અને વાઇબ્રેશન કપલિંગને કારણે થતી ચોકસાઈના ડ્રિફ્ટને રોકવા માટે સપોર્ટ સિસ્ટમ્સ પર થાય છે. ટેબલ ફ્રેમની નીચેનો વિસ્તાર ડેડ કોર્નર્સ વિના સફાઈ માટે સુલભ રહેશે, જેથી ક્લીનરૂમ મોપ્સ અને વેક્યુમ ક્લીનર્સથી સાફ કરી શકાય.

ત્રીજું તાપમાન અને ભેજ સ્થિરતા અને થર્મલ વિકૃતિ પર નિયંત્રણો છે. જોકે સ્વચ્છ રૂમ સતત તાપમાન પ્રણાલીઓથી સજ્જ છે, એર કન્ડીશનરમાંથી દિશાત્મક હવા પુરવઠો સીધા ગ્રેનાઈટ સપાટી પર ફૂંકાઈ શકે છે અને સ્થાનિક તાપમાન તફાવતો બનાવી શકે છે. ગ્રેનાઈટ ગરમીનું સંચાલન ધીમે ધીમે કરે છે, અને અસમાન સ્થાનિક ગરમી નાના થર્મલ વિકૃતિને ઉત્તેજિત કરશે જે સંદર્ભ સમતલને બગાડે છે. ગ્રેનાઈટ નિરીક્ષણ કોષ્ટકો હવાના આઉટલેટ્સથી દૂર સ્થિત હોવા જોઈએ અને લેમિનર એરફ્લોને દિશામાન કરવા જોઈએ. સામગ્રીની અંતર્ગત ઉત્તમ થર્મલ સ્થિરતાનો ઉપયોગ સ્વચ્છ રૂમના તાપમાન અને ભેજ શ્રેણીમાં પરિમાણીય ભિન્નતાને મર્યાદિત કરવા માટે કરવામાં આવે છે. ભેજ પણ યોગ્ય બારીની અંદર રહેવો જોઈએ. વધુ પડતી ભેજ ધાતુના સપોર્ટ ઘટકોના કાટનું કારણ બને છે, અને કાટના કણો મુખ્ય દૂષણ સ્ત્રોત બની જાય છે. ઓછી ભેજ સ્થિર વીજળી તરફ દોરી જાય છે જે ટેબલટોપ અને વર્કપીસ પર ધૂળને આકર્ષે છે. ગ્રેનાઈટ એર-બેરિંગ પ્લેટફોર્મ માટે, એર ચેનલોને પૂરી પાડવામાં આવતી સંકુચિત હવાને ટેબલટોપ પર ધૂળ ફૂંકાતી અટકાવવા માટે સંપૂર્ણ ગાળણક્રિયાની જરૂર પડે છે.

ચોથું એસેમ્બલી અને સહાયક ઘટકો માટે સ્વચ્છ નિયંત્રણ આવશ્યકતાઓ છે. ક્લીનરૂમમાં ગ્રેનાઈટ નિરીક્ષણ કોષ્ટકોનો ઉપયોગ ઘણીવાર ગ્રેનાઈટ બેઝ, એર-બેરિંગ મોડ્યુલ્સ અને ઓપ્ટિકલ નિરીક્ષણ મિકેનિઝમ્સને એસેમ્બલ કરવા માટે થાય છે, જેની ઉપર રેખીય મોટર સ્ટેજ અને XY ગતિ સિસ્ટમો માઉન્ટ થયેલ હોય છે. પ્રવેશ પહેલાં બધા હાર્ડવેર અને ફાસ્ટનર્સને સાફ, ડીગ્રેઝ અને ક્લીનરૂમની બહાર ધૂળ-મુક્ત પેકેજિંગમાં પેક કરવા આવશ્યક છે. સ્વચ્છ વિસ્તારોમાં કાર્ટન અને સામાન્ય પ્લાસ્ટિક બેગ પ્રતિબંધિત છે. ટેબલટોપ પર એસેમ્બલી કાર્યમાં ક્લીનરૂમ ટૂલ્સનો ઉપયોગ કરવો આવશ્યક છે. ઓપરેટરો ત્વચાના ટુકડા અને ગ્રીસથી દૂષણ અટકાવવા માટે ક્લીનરૂમ સુટ અને મોજા પહેરે છે. ગ્રેનાઈટમાં મશીન કરેલા પિન અને થ્રેડેડ ઇન્સર્ટ્સ શોધવા માટેના છિદ્રોને પ્રોસેસિંગ કાટમાળથી સંપૂર્ણપણે સાફ કરવા જોઈએ અને એમ્બેડેડ દૂષકોને ફસાવવા માટે સીલ કરવા જોઈએ. એર-બેરિંગ ગ્રેનાઈટ પ્લેટફોર્મ પર એર ચેનલોને મશીનિંગ પછી વારંવાર ફ્લશ કરવામાં આવે છે જેથી સાઇટ પર ઇન્સ્ટોલેશન પહેલાં બધા અવશેષ કણો દૂર થાય.                                                                                                                                                                                                                        

પાંચમું સ્વચ્છ કામગીરી અને જાળવણી પ્રોટોકોલ છે. સામાન્ય મેટ્રોલોજી લેબ્સ સામાન્ય કોટન વાઇપ્સ અને સ્ટાન્ડર્ડ ક્લીનર્સનો ઉપયોગ કરી શકે છે, પરંતુ ક્લીનરૂમ્સમાં ફક્ત નિયુક્ત ધૂળ-મુક્ત વાઇપ્સ અને તટસ્થ કણ-મુક્ત ડિટર્જન્ટનો ઉપયોગ કરી શકાય છે. સખત સ્ક્રેપિંગ ટૂલ્સ પ્રતિબંધિત છે, કારણ કે ચોકસાઇવાળી જમીનની સપાટી પરના સ્ક્રેચ કાયમી ધોરણે દૂષકોને ફસાવી દેશે. ચોકસાઈ તપાસ માટે ઉપયોગમાં લેવાતા ગેજ અને પ્રોબ્સને ટેબલટોપ સાથે સંપર્ક કરતા પહેલા ધૂળ દૂર કરવી આવશ્યક છે. કર્મચારીઓની હિલચાલથી કણોના ખલેલને ઘટાડવા માટે ઓછા ઉત્પાદન સમયગાળા દરમિયાન સમયાંતરે ચોકસાઈ માપાંકન સુનિશ્ચિત કરવામાં આવે છે. ગ્રેનાઈટ ટેબલટોપ્સને ક્લીનરૂમની અંદર આકસ્મિક રીતે ખસેડવું જોઈએ નહીં, કારણ કે સ્થાનાંતરણ દરમિયાન ઘર્ષણ મોટી માત્રામાં કણો ઉત્પન્ન કરે છે અને ક્લીનરૂમ વર્ગીકરણને ડાઉનગ્રેડ કરે છે. સ્થિર સંદર્ભ કામગીરી જાળવવા માટે લેસર ઇન્ટરફેરોમીટર અને ઇલેક્ટ્રોનિક સ્તરો સાથે પુનરાવર્તિત ચોકસાઈ ચકાસણી હાથ ધરવામાં આવે છે. જાળવણી સ્ટાફ નિયમિતપણે કણોના શેડિંગ અને સીલ અખંડિતતા માટે સપોર્ટ સ્ટ્રક્ચર્સનું નિરીક્ષણ કરે છે. પથ્થરના છિદ્રોમાંથી સતત કણોના પ્રકાશનને રોકવા માટે ક્ષતિગ્રસ્ત સીલિંગ સ્તરોનું તાત્કાલિક સમારકામ કરવામાં આવે છે.

સારાંશમાં, સ્વચ્છ રૂમમાં વપરાતા ગ્રેનાઈટ નિરીક્ષણ કોષ્ટકો માટે, ચોકસાઇ ફક્ત પ્રવેશ આવશ્યકતા છે. સ્વચ્છ સુસંગતતા, કણો નિયંત્રણ, હવાના પ્રવાહના વિક્ષેપ સામે પ્રતિકાર અને ઓછું આઉટગેસિંગ એ મુખ્ય વિશેષ આવશ્યકતાઓ છે. ટેબલટોપ સામગ્રી, સપોર્ટ સ્ટ્રક્ચર્સ, ઇન્સ્ટોલેશન સ્કીમ્સ અને જાળવણી વર્કફ્લો બધાને સ્વચ્છ રૂમ વાતાવરણમાં અનુકૂલન કરવું આવશ્યક છે. ફક્ત આ રીતે જ સ્વચ્છ રૂમ વર્ગીકરણ અને નેનો / માઇક્રોન માપન સંદર્ભ સ્થિરતા બંને જાળવી શકાય છે, જે સેમિકન્ડક્ટર, ઓપ્ટિક્સ અને નવા ઉર્જા ઉદ્યોગો માટે ચોકસાઇ નિરીક્ષણ પ્રક્રિયાઓના સ્થિર સંચાલનને ટેકો આપે છે.