સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનની ચોક્કસ સાંકળમાં, વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમ "ચિપ ઉત્પાદન લાઇનની જીવનરેખા" જેવી છે, અને તેની સ્થિરતા અને ચોકસાઈ સીધી રીતે ચિપ્સના ઉપજ દરને નિર્ધારિત કરે છે. વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમ્સની નવી પેઢી ક્રાંતિકારી રીતે ગ્રેનાઈટ બેઝ સાથે રેખીય મોટર્સને જોડે છે, અને ગ્રેનાઈટ સામગ્રીના અનન્ય ફાયદાઓ ઉચ્ચ-પ્રદર્શન ટ્રાન્સમિશનને અનલૉક કરવા માટે ચોક્કસ મુખ્ય કોડ છે.
ગ્રેનાઈટ બેઝ: સ્થિર ટ્રાન્સમિશન માટે "ખડક-નક્કર પાયો" બનાવવો
ગ્રેનાઈટ, લાખો વર્ષોથી ભૂસ્તરશાસ્ત્રીય શુદ્ધિકરણમાંથી પસાર થયું છે, તેમાં ગાઢ અને એકસમાન આંતરિક ખનિજ સ્ફટિકીકરણ છે. આ કુદરતી લાક્ષણિકતા તેને વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમ્સ માટે એક આદર્શ આધાર સામગ્રી બનાવે છે. સેમિકન્ડક્ટર ક્લીનરૂમ્સના જટિલ વાતાવરણમાં, ગ્રેનાઈટ, તેના અતિ-નીચા થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંક (માત્ર 5-7 ×10⁻⁶/℃) સાથે, સાધનોના સંચાલન દરમિયાન ઉત્પન્ન થતી ગરમી અને પર્યાવરણીય તાપમાનમાં ફેરફારના પ્રભાવનો પ્રતિકાર કરી શકે છે, જે આધારના કદની સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરે છે અને થર્મલ વિકૃતિને કારણે ટ્રાન્સમિશન પાથ વિચલનને ટાળે છે. તેનું ઉત્કૃષ્ટ વાઇબ્રેશન ડેમ્પિંગ પ્રદર્શન રેખીય મોટર્સના સ્ટાર્ટ-અપ, શટડાઉન અને પ્રવેગ દરમિયાન ઉત્પન્ન થતા યાંત્રિક સ્પંદનો તેમજ વર્કશોપમાં અન્ય સાધનોના સંચાલન દ્વારા લાવવામાં આવતા બાહ્ય હસ્તક્ષેપોને ઝડપથી શોષી શકે છે, જે વેફર ટ્રાન્સમિશન માટે "શૂન્ય શેક" સાથે સ્થિર પ્લેટફોર્મ પૂરું પાડે છે.
દરમિયાન, ગ્રેનાઈટની રાસાયણિક સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરે છે કે તે સેમિકન્ડક્ટર વર્કશોપમાં કાટ લાગતો નથી અથવા કાટ લાગતો નથી જ્યાં એસિડ અને આલ્કલી રીએજન્ટ અસ્થિર હોય છે અને ઉચ્ચ સ્વચ્છતા જરૂરી છે, આમ સામગ્રીના વૃદ્ધત્વ અથવા પ્રદૂષક શોષણને કારણે ટ્રાન્સમિશન ચોકસાઈ પર અસર ટાળે છે. સરળ અને ગાઢ સપાટીની લાક્ષણિકતાઓ વધુ અસરકારક રીતે ધૂળના સંલગ્નતાને ઘટાડી શકે છે, સ્વચ્છ રૂમના કડક ધૂળ-મુક્ત ધોરણોને પૂર્ણ કરે છે અને મૂળમાંથી વેફર દૂષણના જોખમને દૂર કરે છે.
રેખીય મોટર્સ અને ગ્રેનાઈટની "સુવર્ણ ભાગીદારી" અસર
લીનિયર મોટર્સ, યાંત્રિક ટ્રાન્સમિશન ક્લિયરન્સ વિના, ઉચ્ચ પ્રવેગક અને ઉચ્ચ પ્રતિભાવ ગતિની તેમની લાક્ષણિકતાઓ સાથે, વેફર ટ્રાન્સમિશનને "ઝડપી, સચોટ અને સ્થિર" ના ફાયદાઓ આપે છે. ગ્રેનાઈટ બેઝ તેના માટે એક મજબૂત અને વિશ્વસનીય સપોર્ટ પ્લેટફોર્મ પૂરું પાડે છે. બંને કામગીરીમાં છલાંગ મેળવવા માટે સાથે મળીને કામ કરે છે. જ્યારે લીનિયર મોટર વેફર કેરિયરને ગ્રેનાઈટ બેઝ ટ્રેક પર ચલાવવા માટે ચલાવે છે, ત્યારે બેઝની મજબૂત કઠોરતા અને સ્થિરતા મોટર ડ્રાઇવિંગ ફોર્સના કાર્યક્ષમ ટ્રાન્સમિશનને સુનિશ્ચિત કરે છે, બેઝ વિકૃતિને કારણે બળ નુકશાન અથવા ટ્રાન્સમિશન લેગને ટાળે છે.
નેનોસ્કેલ ચોકસાઇની માંગને કારણે, રેખીય મોટર્સ સબ-માઇક્રોન-લેવલ ડિસ્પ્લેસમેન્ટ કંટ્રોલ પ્રાપ્ત કરી શકે છે. ગ્રેનાઈટ બેઝની ઉચ્ચ-ચોકસાઇ પ્રક્રિયા લાક્ષણિકતાઓ (±1μm ની અંદર નિયંત્રિત ફ્લેટનેસ ભૂલો સાથે) રેખીય મોટર્સના ચોક્કસ નિયંત્રણ સાથે સંપૂર્ણ રીતે મેળ ખાય છે, સંયુક્ત રીતે ખાતરી કરે છે કે વેફર ટ્રાન્સમિશન દરમિયાન પોઝિશનિંગ ભૂલ ±5μm કરતા ઓછી છે. વિવિધ પ્રક્રિયા સાધનોમાં હાઇ-સ્પીડ શટલિંગ હોય કે વેફર હેન્ડઓવર માટે ચોક્કસ પાર્કિંગ હોય, રેખીય મોટર્સ અને ગ્રેનાઈટ બેઝનું સંયોજન વેફર ટ્રાન્સમિશનમાં "શૂન્ય વિચલન અને શૂન્ય જીટર" સુનિશ્ચિત કરી શકે છે.
ઉદ્યોગ પ્રેક્ટિસ ચકાસણી: કાર્યક્ષમતા અને ઉપજ દરમાં બેવડો સુધારો
તેની વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમને અપગ્રેડ કર્યા પછી, એક અગ્રણી વૈશ્વિક સેમિકન્ડક્ટર એન્ટરપ્રાઇઝે રેખીય મોટર + ગ્રેનાઈટ બેઝ સોલ્યુશન અપનાવ્યું, જેણે વેફર ટ્રાન્સફર કાર્યક્ષમતામાં 40% વધારો કર્યો, ટ્રાન્સફર પ્રક્રિયા દરમિયાન અથડામણ અને ઓફસેટ જેવા ખામીઓના ઘટના દરમાં 85% ઘટાડો કર્યો, અને ચિપ્સના એકંદર ઉપજ દરમાં 6% સુધારો કર્યો. ડેટા પાછળ ગ્રેનાઈટ બેઝ દ્વારા પૂરી પાડવામાં આવતી ટ્રાન્સમિશન સ્થિરતાની ગેરંટી અને રેખીય મોટરની હાઇ-સ્પીડ અને ચોક્કસ સિનર્જી અસર રહેલી છે, જે વેફર ટ્રાન્સમિશન પ્રક્રિયામાં નુકસાન અને ભૂલને નોંધપાત્ર રીતે ઘટાડે છે.
સામગ્રીના ગુણધર્મોથી લઈને ચોકસાઇ ઉત્પાદન સુધી, કામગીરીના ફાયદાઓથી લઈને વ્યવહારુ ચકાસણી સુધી, રેખીય મોટર્સ અને ગ્રેનાઈટ બેઝના સંયોજને વેફર ટ્રાન્સફર સિસ્ટમ્સના ધોરણોને ફરીથી વ્યાખ્યાયિત કર્યા છે. ભવિષ્યમાં જ્યારે સેમિકન્ડક્ટર ટેકનોલોજી 3nm અને 2nm પ્રક્રિયાઓ તરફ આગળ વધશે, ત્યારે ગ્રેનાઈટ સામગ્રી ચોક્કસપણે તેમના બદલી ન શકાય તેવા ફાયદાઓ સાથે ઉદ્યોગના વિકાસમાં મજબૂત પ્રોત્સાહન આપવાનું ચાલુ રાખશે.
પોસ્ટ સમય: મે-૧૪-૨૦૨૫