સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં, બેઝ સ્ટ્રક્ચર ચોકસાઈ બજેટનો એક ભાગ છે. વેફર ઇન્સ્પેક્શન ટૂલ, લેસર પ્રોસેસિંગ પ્લેટફોર્મ અથવા મેટ્રોલોજી સ્ટેજને પહેલા દિવસે જ પરિમાણીય રીતે સચોટ માળખાની જરૂર નથી. તેને એવી રચનાની જરૂર છે જે થર્મલ ચક્ર દ્વારા તેની ભૂમિતિને જાળવી રાખે, કંપનનો પ્રતિકાર કરે, તેના એસેમ્બલી સંબંધો જાળવી રાખે અને નિયંત્રિત વાતાવરણમાં સ્વચ્છ રહે. જરૂરિયાતોના આ સંયોજનને કારણે જ ચોકસાઇ ગ્રેનાઈટ સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં એક પ્રમાણભૂત માળખાકીય સામગ્રી બની ગઈ છે.
નીચે આઠ લાક્ષણિક એપ્લિકેશનો છેચોકસાઇ ગ્રેનાઈટ ઘટકોસેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં, અને દરેક માટે: તેમાં સામેલ લાક્ષણિક ભાગો, સફળતા નક્કી કરતી એન્જિનિયરિંગ ચિંતાઓ, અને સપ્લાયરે શું ડિલિવર કરવું જોઈએ. જો તમે નવું સાધન ડિઝાઇન કરી રહ્યા છો, તો આ તમારી પૂછપરછ માટે એક ચેકલિસ્ટ પણ છે.
મિલ્ડ પોકેટ્સ અને થ્રેડેડ ઇન્સર્ટ્સ સાથેનો મોટો મશીન્ડ ગ્રેનાઈટ બેઝ - સેમિકન્ડક્ટર ઇક્વિપમેન્ટ મોડ્યુલ માટે માળખાકીય પાયો.
1. વેફર નિરીક્ષણ અને ઓપ્ટિકલ મેટ્રોલોજી સાધનો માટેના પાયા
ઓપ્ટિકલ નિરીક્ષણ, ખામી સમીક્ષા અને દ્રશ્ય માપન પ્રણાલીઓ બધા એક જ જરૂરિયાત ધરાવે છે: ઉચ્ચ-રિઝોલ્યુશન ઓપ્ટિક્સ હેઠળ સ્થિર માઉન્ટિંગ અને માપન સંદર્ભ. બેઝની કોઈપણ સૂક્ષ્મ-મૂવમેન્ટ છબીમાં અવાજ બની જાય છે.
- લાક્ષણિક ઘટકો:ગ્રેનાઈટ બેઝ, કોલમ, બ્રિજ, ઓપ્ટિકલ રેલ માઉન્ટિંગ સપાટી, થ્રેડેડ ઇન્સર્ટ્સ.
- એન્જિનિયરિંગ ફોકસ:ઓપ્ટિકલ રેફરન્સ પ્લેનની સપાટતા, માઉન્ટિંગ સપાટીઓ વચ્ચે સમાંતરતા, છિદ્ર સ્થિતિની ચોકસાઈ, થર્મલ સ્થિરતા, કંપન નિયંત્રણ.
- ZHHIMG શું પ્રદાન કરે છે:દરેક મહત્વપૂર્ણ સપાટી માટે સામગ્રીની પસંદગી, માળખાકીય મશીનિંગ, ચોકસાઇ લેપિંગ, ઇન્સર્ટ ઇન્સ્ટોલેશન અને પરિમાણીય નિરીક્ષણ અહેવાલો.
- તમારી પૂછપરછ માટે:2D/3D રેખાંકનો, ઓપ્ટિકલ પેલોડ, લક્ષ્ય પુનરાવર્તિતતા, પર્યાવરણ તાપમાન શ્રેણી.
2. વેફર હેન્ડલિંગ અને પ્રિસિઝન પોઝિશનિંગ પ્લેટફોર્મ્સ
XY સ્ટેજ, રેખીય મોટર પ્લેટફોર્મ અને ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા પોઝિશનિંગ મિકેનિઝમ્સને એક કઠોર યાંત્રિક ડેટાની જરૂર હોય છે જે સ્ટેજ પ્રતિ કલાક હજારો વખત વેગ આપે છે અને ધીમો પાડે છે ત્યારે ડ્રિફ્ટ ન થાય.
- લાક્ષણિક ઘટકો:ગ્રેનાઈટ બેઝ પ્લેટ, ગ્રેનાઈટમશીન બેડ, રેખીય માર્ગદર્શિકા માઉન્ટિંગ રેલ્સ, મોટર માઉન્ટિંગ પેડ્સ.
- એન્જિનિયરિંગ ફોકસ:માર્ગદર્શિકા બેઠકોની સપાટતા અને સીધીતા, અક્ષો વચ્ચે લંબરૂપતા, પુલ-આઉટ તાકાત દાખલ કરો, સ્ટેજ-પ્રેરિત કંપનનું ભીનાશ.
- ZHHIMG શું પ્રદાન કરે છે:રેલ સીટનું મશીનિંગ ચુસ્ત સહિષ્ણુતા માટે, ટોર્ક દસ્તાવેજીકરણ, મોડલ અને સપાટતા માપન ડેટા સાથે ઇન્સ્ટોલેશન દાખલ કરો.
- તમારી પૂછપરછ માટે:સ્ટ્રોક, લોડ, પ્રવેગક પ્રોફાઇલ, લક્ષ્ય સ્થિતિ ચોકસાઈ, સ્થાપન દિશા.
3. AOI સાધનો માટે માળખાકીય ભાગો
ઓટોમેટેડ ઓપ્ટિકલ ઇન્સ્પેક્શન ટૂલ્સ હાઇ-રિઝોલ્યુશન ઇમેજિંગને ઝડપી ગતિ સાથે જોડે છે. બેઝ, બીમ અને કોલમ કેમેરા અને લાઇટિંગને વહન કરે છે, અને એસેમ્બલી ફ્રેમ દરેક મોડ્યુલને ભૌમિતિક સંબંધમાં રાખે છે.
- લાક્ષણિક ઘટકો:ગ્રેનાઈટ બેઝ, ક્રોસબીમ, કોલમ, કેમેરા અને સેન્સર માઉન્ટિંગ ફેસ, એસેમ્બલી ફ્રેમ ઇન્ટરફેસ.
- એન્જિનિયરિંગ ફોકસ:સ્તંભ અને પાયા વચ્ચે ચોરસતા, બીમ સમાંતરતા, છિદ્ર અને સ્લોટ સ્થિતિની ચોકસાઈ, લાંબા ગાળાની ભૌમિતિક સ્થિરતા.
- ZHHIMG શું પ્રદાન કરે છે:મશીન્ડ અને લેપ્ડ સ્ટ્રક્ચરલ સેટ્સ, મેટલ પાર્ટ્સનું મેટિંગ, ફેક્ટરી પ્રી-એસેમ્બલી અને શિપમેન્ટ પહેલાં ભૂમિતિ ચકાસણી.
- તમારી પૂછપરછ માટે:CAD ડેટા, કેમેરા અને લાઇટિંગ લેઆઉટ, ગતિ પરબિડીયું, જરૂરી ઇમેજિંગ સ્થિરતા.
4. ઔદ્યોગિક સીટી અને એક્સ-રે નિરીક્ષણ પ્રણાલીઓ માટેના પાયા
ઔદ્યોગિક સીટી અને એક્સ-રે સિસ્ટમ્સ એક જ માળખા પર એક સ્ત્રોત, એક મેનિપ્યુલેશન સ્ટેજ અને એક ડિટેક્ટરને સ્ટેક કરે છે. આ ત્રણેય વચ્ચેની કોઈપણ સંબંધિત હિલચાલ છબી ભૂલ તરીકે દેખાય છે.
- લાક્ષણિક ઘટકો:ગ્રેનાઈટ બેઝ, રોટરી સ્ટેજ માઉન્ટિંગ પ્લેટ, સોર્સ અને ડિટેક્ટર કોલમ, રેડિયેશન શિલ્ડિંગ ઇન્ટિગ્રેશન સપાટીઓ.
- એન્જિનિયરિંગ ફોકસ:સ્ત્રોત, સ્ટેજ અને ડિટેક્ટર વચ્ચે કોએક્ષિયલ ગોઠવણી ડેટા, પરિભ્રમણ અક્ષ સીટની સપાટતા, કંપન નિયંત્રણ, છિદ્ર સ્થિતિ ચોકસાઈ.
- ZHHIMG શું પ્રદાન કરે છે:સંરેખણ ડેટા સાથે મલ્ટી-સર્ફેસ મશીનિંગ, ઇન્સર્ટ ઇન્સ્ટોલેશન, માપનની શરતો સાથે સંપૂર્ણ પરિમાણીય અહેવાલ.
- તમારી પૂછપરછ માટે:સોર્સ-ડિટેક્ટર અંતર, રોટરી પેલોડ, રિઝોલ્યુશન લક્ષ્ય, ફ્લોર સ્પેસ અને ઇન્સ્ટોલેશન પદ્ધતિ.
5. લેસર પ્રોસેસિંગ અને લેસર માપન માટે પ્લેટફોર્મ
ફેમટોસેકન્ડ અને પીકોસેકન્ડ લેસર માઇક્રોમશીનિંગ, ચોકસાઇ માર્કિંગ, ઓપ્ટિકલ ગોઠવણી અને લેસર માપન સાધનો, બધા માઇક્રોનમાં માપવામાં આવતી બીમ લાઇન દ્વારા ઊર્જાને કેન્દ્રિત કરે છે. ઓપ્ટિક્સ હેઠળનું પ્લેટફોર્મ બીમને ખસેડવું જોઈએ નહીં.
- લાક્ષણિક ઘટકો:ગ્રેનાઈટ પ્લેટફોર્મ, ઓપ્ટિકલ હેડ સપોર્ટ, બીમ પાથ માઉન્ટિંગ રેલ્સ, વર્કપીસ ટેબલ.
- એન્જિનિયરિંગ ફોકસ:ઓપ્ટિકલ માઉન્ટિંગ પ્લેનની સપાટતા, બંધ લેસર વાતાવરણ હેઠળ થર્મલ સ્થિરતા, ઉચ્ચ-આવર્તન વાઇબ્રેશનનું ભીનાશ.
- ZHHIMG શું પ્રદાન કરે છે:ભીનાશ માટે પસંદ કરાયેલ ઝીણા દાણાવાળા ગ્રેનાઈટ, લેપ્ડ ઓપ્ટિકલ માઉન્ટિંગ સપાટીઓ, જરૂર પડ્યે હનીકોમ્બ અથવા સ્ટીલ સબસ્ટ્રક્ચર સાથે એકીકરણ.
- તમારી પૂછપરછ માટે:લેસર તરંગલંબાઇ અને શક્તિ, ઓપ્ટિકલ લેઆઉટ, કાર્યક્ષેત્ર, સ્વચ્છતા જરૂરિયાતો.
૬. સીએમએમ, વિડીયો માપન અને ચોકસાઇ મેટ્રોલોજી સાધનો
ગ્રેનાઈટ લાંબા સમયથી મેટ્રોલોજી માટે મૂળભૂત સામગ્રી રહી છે: વર્કટેબલ, માર્ગદર્શિકા, સ્તંભ, પુલ અને CMM ના પાયા, વિડિઓ માપન મશીનો અને અન્ય ચોકસાઇ માપન સાધનો ગ્રેનાઈટની સ્થિરતા અને લેપેબિલિટી પર આધાર રાખે છે.
- લાક્ષણિક ઘટકો:વર્કટેબલ,ચોકસાઇ માપનસંદર્ભ સપાટીઓ, પુલ અને સ્તંભ માળખાં, માર્ગદર્શિકા બેઠકો.
- એન્જિનિયરિંગ ફોકસ:માપન ટેબલની માઇક્રોન-સ્તરની સપાટતા, સંપૂર્ણ મુસાફરી દરમિયાન માર્ગદર્શિકા બેઠકોની સીધીતા, સ્લાઇડિંગ સંપર્ક હેઠળ ઘસારો પ્રતિકાર.
- ZHHIMG શું પ્રદાન કરે છે:સપાટતા નકશા સાથે હાથથી લેપ કરેલી સપાટીઓ, વપરાયેલ વાસ્તવિક સાધનને શોધી શકાય તેવા કેલિબ્રેશન પ્રમાણપત્રો, વૈકલ્પિક મેચ-સેટ લેપિંગ.
- તમારી પૂછપરછ માટે:માપન શ્રેણી, ચોકસાઈ વર્ગ, MPE લક્ષ્ય, લાગુ ધોરણો.
7. એર બેરિંગ પ્રિસિઝન મોશન પ્લેટફોર્મ્સ
એર બેરિંગ્સ કોઈ પણ પ્રકારના ઘન સંપર્ક વિના દબાણયુક્ત ફિલ્મ પર ફરે છે, જે ઘર્ષણ અને ઘસારાને લગભગ શૂન્ય સુધી ઘટાડે છે. એર બેરિંગની નીચેનો ગ્રેનાઈટ નિષ્ક્રિય બ્લોક નથી: તેની સપાટીની ગુણવત્તા સીધી રીતે નક્કી કરે છે કે ફિલ્મ કેવી રીતે વર્તે છે.
- લાક્ષણિક ઘટકો:લેપ્ડ સાથે ગ્રેનાઈટ બેઝહવા બેરિંગસપાટીઓ, માર્ગદર્શિકા રેલ્સ, ગોળાકાર અને સપાટતા માટે ગ્રેનાઈટ માસ્ટર્સ, અતિ-ચોકસાઇવાળા સ્ટેજ સ્ટ્રક્ચર્સ.
- એન્જિનિયરિંગ ફોકસ:હવા ફિલ્મના ચહેરાઓની સપાટી પૂર્ણાહુતિ અને સપાટતા, છિદ્રો અને સૂક્ષ્મ ખામીઓનું નિયંત્રણ, વિરોધી બેરિંગ ચહેરાઓ વચ્ચે સમાંતરતા, લાંબા ગાળાની સ્થિરતા.
- ZHHIMG શું પ્રદાન કરે છે:પ્રમાણિત ભૂમિતિ, મેળ ખાતી સપાટીના સેટ અને સ્વચ્છ ખંડ-સુસંગત પેકેજિંગ સાથે લેપ્ડ અને પોલિશ્ડ એર-બેરિંગ ફેસ.
- તમારી પૂછપરછ માટે:એર ફિલ્મ ડિઝાઇન, લોડ અને પ્રીલોડ, મુસાફરી, લક્ષ્ય સીધીતા અથવા ગોળાકારતા.
8. સેમિકન્ડક્ટર ઇક્વિપમેન્ટ મોડ્યુલ્સ માટે મોડ્યુલર એસેમ્બલી પ્લેટફોર્મ
ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા મોડ્યુલોનું અંતિમ એકીકરણ નિયંત્રિત તાપમાન, ભેજ અને કંપન હેઠળ થાય છે, ઘણીવાર સ્વચ્છ રૂમમાં. ગ્રેનાઈટ પ્લેટફોર્મ એસેમ્બલી ડેટમ તરીકે સેવા આપે છે જ્યાં ગ્રેનાઈટ ભાગો, ધાતુના ભાગો, સિરામિક ભાગો, રેલ્સ, એર બેરિંગ ઘટકો અને ગતિ મોડ્યુલો એક સાથે આવે છે.
- લાક્ષણિક ઘટકો:મોડ્યુલર ગ્રેનાઈટ એસેમ્બલી પ્લેટફોર્મ, ટૂલિંગ અને ફિક્સ્ચર ઇન્ટરફેસ, મોડ્યુલ ડોકીંગ સપાટીઓ.
- એન્જિનિયરિંગ ફોકસ:મોડ્યુલોમાં ડેટા સુસંગતતા, ઇન્સર્ટ અને ડોવેલ ચોકસાઈ, ક્લીનરૂમ એસેમ્બલી શરતો સાથે સુસંગતતા.
- ZHHIMG શું પ્રદાન કરે છે:સ્વચ્છ રૂમએસેમ્બલી, નિરીક્ષણ અને માપાંકનસંપૂર્ણ મોડ્યુલો, ગ્રેનાઈટ, ધાતુ અને સિરામિક ઘટકોને ચકાસાયેલ એસેમ્બલીમાં એકીકૃત કરીને.
- તમારી પૂછપરછ માટે:મોડ્યુલ યાદી, સ્વચ્છતા વર્ગ, એસેમ્બલી ક્રમ, અંતિમ નિરીક્ષણ માપદંડ.
આઠ અરજીઓ માટે એક જ એન્જિનિયરિંગ ચેકલિસ્ટ
આ એપ્લિકેશનોમાં, એન્જિનિયરિંગ પ્રશ્નો સમાન રહે છે: કઈ ભૂમિતિ, કયા ક્ષેત્ર પર, કયા થર્મલ અને કંપન વાતાવરણ હેઠળ અને કેટલા સમય માટે હોવી જોઈએ. એક ગ્રેનાઈટ સપ્લાયર જે માપેલા ડેટા - ફ્લેટનેસ મેપ્સ, બેચ મટીરીયલ રિપોર્ટ્સ, ઇન્સર્ટ ટોર્ક રેકોર્ડ્સ - સાથે જવાબ આપી શકે છે તે એક સપ્લાયર છે જેનું ઓડિટ કરી શકાય છે. ZHHIMG સપોર્ટ કરે છેસેમિકન્ડક્ટર સાધનોઉત્પાદકો જે બરાબર તે જ અભિગમ ધરાવે છે.
ZHHIMG® કસ્ટમ ગ્રેનાઈટ બેઝ, ફ્રેમ્સ, ગાઈડવે, એર-બેરિંગ સ્ટ્રક્ચર્સ અને ઈન્ટિગ્રેટેડ પ્રિસિઝન એસેમ્બલી સાથે સેમિકન્ડક્ટર-ઉપકરણ ઉત્પાદકોને સપોર્ટ કરે છે. એન્જિનિયરિંગ મૂલ્યાંકન માટે તમારા ડ્રોઈંગ સાથે અમારો સંપર્ક કરો.
પોસ્ટ સમય: સપ્ટેમ્બર-૧૮-૨૦૨૬